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クリーン搬送システム 大気搬送ロボット PLP対応 サーボモーター仕様大気用クリーンロボット シングル-クリーン搬送システム 大気搬送ロボット PLP対応 サーボモーター仕様大気用クリーンロボット シングル
クリーン搬送システム 大気搬送ロボット PLP対応 サーボモーター仕様大気用クリーンロボット シングル-タツモ株式会社

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット PLP対応 サーボモーター仕様大気用クリーンロボット シングル
タツモ株式会社



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この製品について

本製品は、PLPに特化したシングルアームロボットになります。

■製品特徴

・ワークサイズ:最大650mm角基板まで対応しております。 ・最大到達距離:1500mmまで対応しております。

  • シリーズ

    クリーン搬送システム 大気搬送ロボット PLP対応 サーボモーター仕様大気用クリーンロボット シングル

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クリーン搬送システム 大気搬送ロボット PLP対応 サーボモーター仕様大気用クリーンロボット シングル 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対象ワーク 動作軸 動作範囲 動作時間 繰り返し精度 駆動モーター 速度制御方式 通信仕様 ユーティリティ 質量
クリーン搬送システム 大気搬送ロボット PLP対応 サーボモーター仕様大気用クリーンロボット シングル-品番-クリーン搬送システム 大気搬送ロボット PLP対応 サーボモーター仕様大気用クリーンロボット シングル

クリーン搬送システム 大気搬送ロボット PLP対応 サーボモーター仕様大気用クリーンロボット シングル

要見積もり

角基盤 300~650mm

R軸/T軸/Z軸/S軸

R:アーム最大到達距離 760mm (旋回中心より) T: 185degZ:5 00mmS:2000mm

R:1.8sec/フルストローク (-520mm~760mm) T:2.0sec/180deg Z:1.5sec/500mmS:2.5sec/2000mm

R: ±0.2mmT : ±0.03degZ: ±0.1mmS : ±0.25mm

ACサーボモーター

S字加減速制御

RS232C/ETHERNET

動力: コントローラーより供給VAC-80kPa以下 15L/min以上 6 ワンタッチ継手 2系統

ロボット 約110kgスライドレール 約220kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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  • 本社所在地: 岡山県
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