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ナノインプリント 全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ-DYAD ®
ナノインプリント 全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ-タツモ株式会社

ナノインプリント 全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ
タツモ株式会社

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この製品について

Φ8/12インチ UV硬化仕様

■製品特徴

・全自動量産装置 (塗布・乾燥・アライメント ・ 貼合・剥離) ・Φ8/12インチ UV硬化仕様 ・AR/VR/MR、3Dセンサー等光学デバイスに対応 ・アライメント精度±1μ ・ハイアスペクト、スランテッドに対応 ・業界で実績のあるユニットと搬送ロボット ・離型フリー材の開発

  • シリーズ

    ナノインプリント 全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ

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ナノインプリント 全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) Wafer size Unit Cassette Unit 搬送 Unit 塗布 Unit Bake Unit Cool Unit Imprint Remover Option
ナノインプリント 全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ-品番-DYAD ®

DYAD ®

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200mm/300mm

FOUP 25段

TAZMO製Robot

Spin coat Max 3,000rpm

Plate Type Max 250°C

Plate Type/水冷式

UV照射式

Release材不要

貼り合わせ精度±1μm以下

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この商品の取り扱い会社情報

タツモ株式会社

会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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  • 本社所在地: 岡山県

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