ナノインプリント全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ
タツモ株式会社

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この製品について

Φ8/12インチ UV硬化仕様

■製品特徴・全自動量産装置 (塗布・乾燥・アライメント ・ 貼合・剥離) 
・Φ8/12インチ UV硬化仕様
・AR/VR/MR、3Dセンサー等光学デバイスに対応
・アライメント精度±1μ
・ハイアスペクト、スランテッドに対応
・業界で実績のあるユニットと搬送ロボット
・離型フリー材の開発

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ナノインプリント全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ

取扱企業
タツモ株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

塗布装置

搬送器具・装置

搬送装置

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ナノインプリント装置

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ナノインプリント全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	Wafer size	Unit Cassette	Unit 搬送	Unit 塗布	Unit Bake	Unit Cool	Unit Imprint	Remover	Option
	DYAD ®	要見積もり	200mm/300mm	FOUP 25段	TAZMO製Robot	Spin coat Max 3,000rpm	Plate Type Max 250°C	Plate Type/水冷式	UV照射式	Release材不要	貼り合わせ精度±1μm以下