ナノインプリント 全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ-DYAD ®
ナノインプリント 全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ-タツモ株式会社

ナノインプリント 全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ
タツモ株式会社



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この製品について

Φ8/12インチ UV硬化仕様

■製品特徴

・全自動量産装置 (塗布・乾燥・アライメント ・ 貼合・剥離) ・Φ8/12インチ UV硬化仕様 ・AR/VR/MR、3Dセンサー等光学デバイスに対応 ・アライメント精度±1μ ・ハイアスペクト、スランテッドに対応 ・業界で実績のあるユニットと搬送ロボット ・離型フリー材の開発

  • シリーズ

    ナノインプリント 全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ

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ナノインプリント 全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) Wafer size Unit Cassette Unit 搬送 Unit 塗布 Unit Bake Unit Cool Unit Imprint Remover Option
ナノインプリント 全自動量産装置 DYAD ® TIWシリーズ-品番-DYAD ®

DYAD ®

要見積もり 200mm/300mm FOUP 25段 TAZMO製Robot Spin coat Max 3,000rpm Plate Type Max 250°C Plate Type/水冷式 UV照射式 Release材不要 貼り合わせ精度±1μm以下

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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  • 本社所在地: 岡山県
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