CMPスラリー供給システム 粉体酸化剤 (APS) 溶解・供給システム
タツモ株式会社
この製品について
■製品特徴
・粉体溶解機能付きドラムキャビネット。 ・供給装置は New MX2000またはiSIS1200Jがベースとなります。 ・複数台のCMP装置への集中供給が可能です。 ・タッチパネルによる運転操作、各種設定、計器類モニター。 ・アラーム履歴、原液ドラムバーコード管理、運転データロギングなど監視機能。 ・手動操作、自動洗浄などメンテナンス機能。 ・濃度計、フィルター搭載。 ・粉体容器サイズ変更など各種カスタマイズに対応しています。 ・付帯ユニット例として、バルブボックス、電源盤、監視盤などをラインナップしています。-
シリーズ
CMPスラリー供給システム 粉体酸化剤 (APS) 溶解・供給システム
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取扱企業
タツモ株式会社
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カテゴリ
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CMPスラリー供給システム 粉体酸化剤 (APS) 溶解・供給システム 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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CMPスラリー供給システム 粉体酸化剤 (APS) 溶解・供給システム |
要見積もり |
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