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CMPスラリー供給システム デュアルエンジン スラリー 希釈混合供給システム iSIS1200J-iSIS1200J
CMPスラリー供給システム デュアルエンジン スラリー 希釈混合供給システム iSIS1200J-タツモ株式会社

CMPスラリー供給システム デュアルエンジン スラリー 希釈混合供給システム iSIS1200J
タツモ株式会社

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この製品について

iSIS1200Jは、2つのキャビネットそれぞれに混合部、供給部、タンクを搭載した装置です。冗長性によるダウンタイムの防止、メンテナンス時のバックアップ運転、2種類のスラリーを1台で供給、といったフレキシブルな運用が可能です。

■製品特徵

・2系統の混合/供給部を搭載しています。 ・真空吸引/窒素ガス圧送による供給方式です。 ・複数台のCMP装置への集中供給が可能です。 ・タッチパネルによる運転操作、各種設定、計器類モニター。 ・アラーム履歴、原液ドラムバーコード管理、運転データロギングなど監視機能。 ・手動操作、自動洗浄などメンテナンス機能。 ・ポンプ供給方式への変更など各種カスタマイズに対応しています。 ・付帯ユニット例として、ドラムキャビネット、バルブボックス、モニタリング機器、フィルター、電源盤、監視盤などをラインナップし ています。

  • シリーズ

    CMPスラリー供給システム デュアルエンジン スラリー 希釈混合供給システム iSIS1200J

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CMPスラリー供給システム デュアルエンジン スラリー 希釈混合供給システム iSIS1200J 品番1件

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会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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  • 本社所在地: 岡山県

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