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シリーズ
卓上型 マスクアライナ EMA-400取扱企業
ユニオン光学株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | マスクサイズ | ウエハサイズ | 露光照明 | 露光モード | 解像度 | アライメントスコープ | ウエハステージ | アライメント方式 | アライメント精度 | 設置サイズ | 設置重量 | ユーティリティ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
EMA-400 |
要見積もり |
□5インチ |
φ4インチ |
250W超高圧水銀灯 |
ソフトコンタクト |
3μm |
双対物顕微鏡 |
XYステージストローク±5mm |
ウェハステージ移動によるマニュアルアライメント |
±3μm |
735 (W) x490 (D) x605 (H) mm |
約90kg |
電源AC100V/15A50/60Hz |
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FPD露光装置の製品35点中、注目ランキング上位6点
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FPD露光装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #微細加工 #フォトリソグラフィ #研究開発 #MEMS #バイオテクノロジー #3次元露光 #水晶発振子製造 #タッチパネル #ディスプレイ露光方式
マスク露光型 スキャン露光型 マスクレス露光型光源種類
水銀ランプ型 エキシマレーザー型 LED光源型解像方式
接触露光型 近接露光型 投影露光型搬送方式
ステージ移動型 ロール搬送型対応サイズ
大型基板対応型 中小型基板対応型最小露光線幅 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20光源波長 nm
200 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 500 500 - 1,100露光領域 mm
0 - 50 50 - 150 150 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,100対物レンズ倍率 倍
0 - 5 5 - 15 15 - 50 50 - 100 100 - 150露光時間ショットあたり 秒
0 - 5 5 - 10 10 - 15消費電力 kW
0 - 3 3 - 6
