卓上型 マスクアライナ EMA-400
ユニオン光学株式会社
ユニオン光学株式会社の対応状況
返答率
100.0%
平均返答時間
22.4時間
返信の比較的早い企業
この製品について
■概要
本製品は、省スペースで手軽に扱え、しかも高性能・低価格、大学・企業研究室用として最適なマスクアライナです.本製品の特徴は、このクラスとして初めて双対物顕微鏡、インテグレータレンズ (照明系) を採用し、精度の高いアライメントと、焼き付けが行うことができます。■特徴
・2視野顕微鏡の採用 ・観察光源にLED採用 ・インテグレータレンズの採用■用途 (民間の研究所・大学研究室等のマイクロマシン研究開発用に)
・溶剤・新素材、アクチュエーター、圧力センサ、加速度センサ、パワーデバイス等 ・フリップ・チップ/BGA/CSP用の加工に ・光通信/高速通信コンポーネントの加工に-
シリーズ
卓上型 マスクアライナ EMA-400
-
取扱企業
ユニオン光学株式会社
-
カテゴリ
露光装置注目ランキング
もっと見る
露光装置の製品10点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
まとめて見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%以上
96%以上の方が返答を受け取っています
露光装置注目ランキング (対応の早い企業)
平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
まとめて見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%以上
96%以上の方が返答を受け取っています
卓上型 マスクアライナ EMA-400 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | マスクサイズ | ウエハサイズ | 露光照明 | 露光モード | 解像度 | アライメントスコープ | ウエハステージ | アライメント方式 | アライメント精度 | 設置サイズ | 設置重量 | ユーティリティ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
EMA-400 |
要見積もり | □5インチ | φ4インチ |
250W超高圧水銀灯 光学方式インテグレータレンズ方式 照度ムラ±5％以下 照度20mW/cm2 (405nm) 有効露光範囲φ100mm 露光量:デジタルタイマによるロータリーソレノイド駆動 |
ソフトコンタクト | 3μm |
双対物顕微鏡 10倍対物レンズ2個 (N.A.=0.15,W.D.=30mm) 対物間隔15~75mm 総合倍率100倍 |
XYステージストローク±5mm θ回転ストローク±5° Z軸ストローク0~4mm |
ウェハステージ移動によるマニュアルアライメント | ±3μm | 735 (W) x490 (D) x605 (H) mm | 約90kg |
電源AC100V/15A50/60Hz 真空 (圧力) 21.3kPa (大気より-80kPa) |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
