A-311 エアベアリング付き平面スキャナー　高性能・小型XYナノポジショニングシステム-A-311.DA1

A-311 エアベアリング付き平面スキャナー　高性能・小型XYナノポジショニングシステムピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

高性能・小型XYナノポジショニングシステム。エアベアリングを備えた高精度PIglide IS XY平面スキャナーは、フラットなデザインで、積み重ねられたXYステージの代替品です。効率的でコンパクトな設計により、設置スペースが限られている機械のスペースを節約できます。

■特徴・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適
・クリーンルーム対応
・300 mm × 400 mmまでの移動範囲
・147 Nまでの負荷容量
・ロープロファイル
・1 nmまでの分解能

概要
■PIMag磁気ダイレクトドライブ®三相磁気ダイレクトドライブは、ドライブトレインに機械部品を使用せず、摩擦なしで直接駆動力をモーションプラットフォームに伝達します。ドライブは高速と加速に達します。アイアンレスモーターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度に対する要求が最も高い位置決め作業に特に適しています。

これにより、最低速度でもスムーズな走行が可能になると同時に、高速でも振動がありません。制御動作の非線形性が回避され、任意の位置を簡単に制御できます。駆動力は自由に設定できます。大手メーカーのデジタルコントローラでの操作は、ダイナミクスとエラー補償を改善するための高度な制御アルゴリズムを提供します。

■アクセサリとオプションエンコーダー/PIglideフィルターと空気準備キット/多軸モーションコントローラとダイレクトドライブ/マシンベース/花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■応用分野PIglideポジショニングシステムは、検査システム、レーザーマーキング、顕微鏡、スキャンなどの高精度アプリケーションに最適です。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
A-311 エアベアリング付き平面スキャナー　高性能・小型XYナノポジショニングシステム

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

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A-311 エアベアリング付き平面スキャナー　高性能・小型XYナノポジショニングシステム品番10件

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品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	X単位の移動範囲	Yの旅行範囲	Xの加速度、無負荷	Y単位の加速度、無負荷	最大速度 (X) (無負荷)	Y単位の最大速度、無負荷	直交	真直度 (Xの線形クロストークとYの運動)	真直度 (Yの線形クロストークとXの運動)	平坦度 (Z単位の線形クロストークとX単位の運動)	平坦度 (Z単位の線形クロストークとY単位の運動)	ピッチ (回転クロストーク (θX、運動はY)	ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX)	ヨー (θZ の回転クロストークと X の運動)	ヨー (θZ の回転クロストークと Y の運動)	X単位の位置決め精度、校正済み	X単位の位置決め精度、未校正	Y単位の位置決め精度、校正済み	位置決め精度 (Y単位) 、未校正	Xでの双方向再現性	Y単位の双方向再現性	基準スイッチ	リミットスイッチ	統合センサー	センサー信号	センサー信号周期	センサー解像度	ドライブの種類	公称電圧
A-311.DA1	要見積もり	X Y	50 mm	50 mm	27.5 m/s²	15 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 10 µrad	± 10 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 0.2 µm	± 1 µm	± 0.2 µm	± 1 µm	0.1 µm	0.1 µm	エンコーダインデックス	ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ	インクリメンタルリニアエンコーダ	Sin/cos, 1 V peak-peak	20 µm	1.2 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.DB1	要見積もり	X Y	50 mm	50 mm	27.5 m/s²	15 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 10 µrad	± 10 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 0.2 µm	± 1 µm	± 0.2 µm	± 1 µm	0.1 µm	0.1 µm	-	-	アブソリュートリニアエンコーダ	BiSS-C	-	1 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.AA1	要見積もり	X Y	100 mm	100 mm	27.5 m/s²	13 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 12.5 µrad	± 12.5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 0.2 µm	± 1.5 µm	± 0.2 µm	± 1.5 µm	0.1 µm	0.1 µm	エンコーダインデックス	ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ	インクリメンタルリニアエンコーダ	Sin/cos, 1 V peak-peak	20 µm	1.2 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.AB1	要見積もり	X Y	100 mm	100 mm	27.5 m/s²	13 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 12.5 µrad	± 12.5 µrad	± 5 µrad	± 5 µrad	± 0.2 µm	± 1.5 µm	± 0.2 µm	± 1.5 µm	0.1 µm	0.1 µm	-	-	アブソリュートリニアエンコーダ	BiSS-C	-	1 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.BA1	要見積もり	X Y	150 mm	150 mm	27.5 m/s²	11 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.5 µm	± 0.5 µm	± 17.5 µrad	± 17.5 µrad	± 7.5 µrad	± 7.5 µrad	± 0.2 µm	± 2 µm	± 0.2 µm	± 2 µm	0.1 µm	0.1 µm	エンコーダインデックス	ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ	インクリメンタルリニアエンコーダ	Sin/cos, 1 V peak-peak	20 µm	1.2 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.BB1	要見積もり	X Y	150 mm	150 mm	27.5 m/s²	11 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.25 µm	± 0.25 µm	± 0.5 µm	± 0.5 µm	± 17.5 µrad	± 17.5 µrad	± 7.5 µrad	± 7.5 µrad	± 0.2 µm	± 2 µm	± 0.2 µm	± 2 µm	0.1 µm	0.1 µm	-	-	アブソリュートリニアエンコーダ	BiSS-C	-	1 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.CA1	要見積もり	X Y	200 mm	200 mm	27.5 m/s²	10 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.5 µm	± 0.5 µm	± 0.75 µm	± 0.75 µm	± 20 µrad	± 20 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 0.2 µm	± 2.5 µm	± 0.2 µm	± 2.5 µm	0.1 µm	0.1 µm	エンコーダインデックス	ホール効果、N/O接点、5V~24V、オープンコレクタ	インクリメンタルリニアエンコーダ	Sin/cos, 1 V peak-peak	20 µm	1.2 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.CB1	要見積もり	X Y	200 mm	200 mm	27.5 m/s²	10 m/s²	2,000 mm/s	2,000 mm/s	± 12.5 µrad	± 0.5 µm	± 0.5 µm	± 0.75 µm	± 0.75 µm	± 20 µrad	± 20 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 0.2 µm	± 2.5 µm	± 0.2 µm	± 2.5 µm	0.1 µm	0.1 µm	-	-	アブソリュートリニアエンコーダ	BiSS-C	-	1 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.FB1	要見積もり	X Y	300 mm	300 mm	10 m/s²	10 m/s²	1,000 mm/s	1,000 mm/s	± 5 µrad	± 1 µm	± 1 µm	± 1.5 µm	± 1.5 µm	± 40 µrad	± 40 µrad	± 20 µrad	± 20 µrad	± 0.2 µm	-	± 0.2 µm	-	0.15 µm	0.15 µm	-	-	アブソリュートリニアエンコーダ	BiSS-C	-	1 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V
A-311.GB1	要見積もり	X Y	300 mm	400 mm	10 m/s²	10 m/s²	1,000 mm/s	1,000 mm/s	± 25 µrad	± 0.5 µm	± 0.5 µm	± 0.75 µm	± 0.75 µm	± 20 µrad	± 20 µrad	± 10 µrad	± 10 µrad	± 0.2 µm	-	± 0.2 µm	-	0.1 µm	0.1 µm	-	-	アブソリュートリニアエンコーダ	BiSS-C	-	1 nm	アイアンレス3相リニアモーター	48 V