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膜厚分布測定装置FiDiCa® Dシリーズ 広レンジモデル FDC-D30HU取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定用途 | 計測膜厚範囲 | 測定サイズ | 測定点数 | 空間分解能 | 測定速度 | 繰り返し再現性 | 装置サイズ |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
FDC-D30HU |
要見積もり |
薄膜~厚膜測定 |
50nm~100μm |
4~12インチウェーハ (選択可) |
約400万点 |
約5μm~150μm |
10分以内 |
3σ<1.0nm |
仕様による |