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膜厚分布測定装置FiDiCa® Wシリーズ ウェブ検査用モデル-FDC-W2520
膜厚分布測定装置FiDiCa® Wシリーズ ウェブ検査用モデル-JFEテクノリサーチ株式会社

膜厚分布測定装置FiDiCa® Wシリーズ ウェブ検査用モデル
JFEテクノリサーチ株式会社



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この製品について

■膜厚分布を非接触で高速・高精度に測定・可視化

・半導体やフィルム、液膜などの膜厚分布を非接触で高速・高精度にマッピングできる、2次元分光干渉膜厚計 ・50nm~800μmまで、幅広い膜厚 (薄膜、厚膜、極厚膜) レンジの測定に対応 ・分光干渉法を用いた高い測定精度 ・独自アルゴリズムを用い、100万点~400万点の測定データを数分で高速演算 ・オフラインの卓上装置から、インライン機までカスタマイズ可能 ・多層膜測定にも対応

■光干渉を利用した膜厚測定とは

光干渉を利用した膜厚測定とは、測定対象の表面と裏面の反射光間で発生する干渉の分光強度 (スペクトル) から膜厚値を求める半導体やフィルム業界ではスターンダードな手法です。FiDiCa®では豊富なラインナップで、50nm~800μmの膜厚が測定可能です。 具体例として ・半導体の場合:シリコンウェーハ上の酸化膜やレジスト等の厚み。また各種ウェーハそのものの厚み管理が可能です。面の膜厚情報により、厚みが管理値内に入っているかだけでなく、厚みの傾向や局所的な欠陥などが検出可能です。 ・フィルムの場合:フィルム原反の厚みムラだけでなく、その上のコーティングや多層測定も可能です。 (材質、層構造によります) 面の膜厚情報により、スジ状の欠陥や幅方向のムラなど、従来の点の膜厚計では不可能であった検査が可能です。 ・その他の事例:電子部品や半導体材料、油膜、液膜、接着剤など、厚み管理が課題の幅広いアプリケーションに利用されております。

■特長

・カメラ、照明を一体のユニット化したモデル ・現地調整不要で設置・交換が容易 ・複数台設置により幅広な対象にも対応可能 ・ラインスキャンによりインライン膜厚の測定が可能

■主な用途

フィルム、ガラス、基材上の塗工膜等のインライン膜厚測定

  • シリーズ

    膜厚分布測定装置FiDiCa® Wシリーズ ウェブ検査用モデル

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膜厚分布測定装置FiDiCa® Wシリーズ ウェブ検査用モデル 品番2件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 計測膜厚範囲 測定速度 繰り返し再現性
膜厚分布測定装置FiDiCa® Wシリーズ ウェブ検査用モデル-品番-FDC-W2520

FDC-W2520

要見積もり

100nm~20μm
※材質、条件によります。

100mm
※対象物により、更なる幅広対応も可能です。

0.13mm

約20ライン/秒
※材質、条件によります。

3σ<1.0nm
※校正された厚さ1μmのSiウェーハ上のSiO2膜にて。

W320×D220×H850mm

膜厚分布測定装置FiDiCa® Wシリーズ ウェブ検査用モデル-品番-FDC-W5020

FDC-W5020

要見積もり

100nm~20μm
※材質、条件によります。

500mm
※対象物により、更なる幅広対応も可能です。

0.26mm

約20ライン/秒
※材質、条件によります。

3σ<1.0nm
※校正された厚さ1μmのSiウェーハ上のSiO2膜にて。

W640×D220×H850mm

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ナノ領域から大型構造物まで幅広い対象において、最新の分析・試験設備を用い、信...

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