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膜厚分布測定装置FiDiCa® Wシリーズ ウェブ検査用モデル取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 計測膜厚範囲 | 測定幅 | 空間分解能 | 測定速度 | 繰り返し再現性 | 装置サイズ | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
FDC-W2520 |
要見積もり |
100nm~20μm |
100mm |
0.13mm |
約20ライン/秒 |
3σ<1.0nm |
W320×D220×H850mm |
||
FDC-W5020 |
要見積もり |
100nm~20μm |
500mm |
0.26mm |
約20ライン/秒 |
3σ<1.0nm |
W640×D220×H850mm |