全てのカテゴリ
閲覧履歴
シリーズ
膜厚分布測定装置FiDiCa® Hシリーズ 高分解能モデル FDC-H1510取扱企業
JFEテクノリサーチ株式会社カテゴリ
もっと見る
膜厚計の製品83点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
96%以上の方が返答を受け取っています
商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 計測膜厚範囲 | 測定サイズ | 測定点数 | 空間分解能 | 測定速度 | 繰り返し再現性 | 装置サイズ |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
FDC-H1510 |
要見積もり |
100nm~10μm ※材質、条件によります。 |
局所測定:約3mm角 全面測定:約150mm (6インチウェーハ) |
約20万点 | 約5μm |
局所測定:約30秒 全面測定:約10分 ※材質、条件によります。 |
3σ<1.0nm ※校正された厚さ1μmのSiウェーハ上のSiO2膜にて。 |
W500×D620×H280mm |