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膜厚分布測定装置FiDiCa® Sシリーズ 標準モデル取扱企業
JFEテクノリサーチ株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 計測膜厚範囲 | 測定サイズ | 測定点数 | 空間分解能 | 測定速度 | 繰り返し再現性 | 装置サイズ |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
FDC-S□□□□ |
要見積もり |
50nm~20μm (薄膜モデル) 1μm~100μm (厚膜モデル) 20μm~800μm (極厚膜モデル) |
4インチ~12インチウェーハ A4サイズ |
約400万点 (薄膜モデル) 約150万点 (厚膜モデル) 約100万点 (極厚膜モデル) |
約50μm~150μm (薄膜モデル) 約80μm~250μm (厚膜モデル) 約100μm~300μm (極厚膜モデル) ※サンプルサイズによります。 |
2分以内 ※材質、条件によります。 |
3σ<1.0nm (薄膜・厚膜モデル) 3σ<10nm (極厚膜モデル) ※校正された厚さ1μmのSiウェーハ上のSiO2膜にて。 |
約W810×D820~880×H2,000mm ※12インチウェーハの場合 |