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各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット COVOT-LC-COVOT-LC
各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット COVOT-LC-アルバック販売株式会社

各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット COVOT-LC
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

COVOT-LCはZ軸を持たない、シンプルでリーズナブルな真空搬送ロボットです。

■用途

・各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送 ・各種真空実験装置での基板搬送

■特長

・Z軸を持たない、シンプルな2軸ロボットです。 ・コントローラを内蔵していますので、コンパクトな装置レイアウトが実現できます。 ・10^-5Paの高真空まで対応します。

  • シリーズ

    各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット COVOT-LC

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各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット COVOT-LC 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用圧力領域 ウェーハサイズ ウェーハ保持枚数 最大到達距離 回転角度 最小旋回直径 可搬重量 (ハンド含む) 動作速度 伸縮 動作速度 旋回 繰り返し位置精度 伸縮 繰り返し位置精度 旋回 ティーチングペンダント コントローラ
各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット COVOT-LC-品番-COVOT-LC

COVOT-LC

要見積もり

大気圧~10^-5Pa

200mm/300mm

1枚/2枚

800mm

-15º~375º

802mm 取付アームによる

1kg

Max 2.5sec/フルストローク

Max 2.5sec/180º

±0.2mm

±0.2mm

オプション

内蔵

フィルターから探す

搬送ロボットをフィルターから探すことができます

最大積載量 kg

0 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 4,000

バッテリー性能稼働時間 時間

4 - 8 8 - 10 10 - 24 24 - 25

定格荷重 kg

0 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 4,000

モーション性能位置決め精度 mm

5 - 10 10 - 15

動作時間 sec

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4

重量 kg

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 700 700 - 800 800 - 900

動作範囲 m²

-600 - 0 0 - 1,000 1,000 - 11,000

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この商品の取り扱い会社情報

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385.4時間

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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