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100.0%
返答時間
125.8時間
シリーズ
各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット COVOT-LC取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 使用圧力領域 | ウェーハサイズ | ウェーハ保持枚数 | 最大到達距離 | 回転角度 | 最小旋回直径 | 可搬重量 (ハンド含む) | 動作速度 伸縮 | 動作速度 旋回 | 繰り返し位置精度 伸縮 | 繰り返し位置精度 旋回 | ティーチングペンダント | コントローラ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
COVOT-LC |
要見積もり |
大気圧~10^-5Pa |
200mm/300mm |
1枚/2枚 |
800mm |
-15º~375º |
802mm 取付アームによる |
1kg |
Max 2.5sec/フルストローク |
Max 2.5sec/180º |
±0.2mm |
±0.2mm |
オプション |
内蔵 |
