各種電源・ロボット関連真空搬送ロボット COVOT-LC
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この製品について

■概要COVOT-LCはZ軸を持たない、シンプルでリーズナブルな真空搬送ロボットです。

■用途・各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
・各種真空実験装置での基板搬送

■特長・Z軸を持たない、シンプルな2軸ロボットです。
・コントローラを内蔵していますので、コンパクトな装置レイアウトが実現できます。
・10^-5Paの高真空まで対応します。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
各種電源・ロボット関連真空搬送ロボット COVOT-LC

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

ロボット

搬送ロボット

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各種電源・ロボット関連真空搬送ロボット COVOT-LC 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用圧力領域	ウェーハサイズ	ウェーハ保持枚数	最大到達距離	回転角度	最小旋回直径	可搬重量 (ハンド含む)	動作速度伸縮	動作速度旋回	繰り返し位置精度伸縮	繰り返し位置精度旋回	ティーチングペンダント	コントローラ
	COVOT-LC	要見積もり	大気圧~10^-5Pa	200mm/300mm	1枚/2枚	800mm	-15º~375º	802mm 取付アームによる	1kg	Max 2.5sec/フルストローク	Max 2.5sec/180º	±0.2mm	±0.2mm	オプション	内蔵