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分析・計測機器 表面分析装置 イオン銃/電子分光器 (CMA) FIG-5 パッケージ-FIG-5
分析・計測機器 表面分析装置 イオン銃/電子分光器 (CMA) FIG-5 パッケージ-アルバック販売株式会社

分析・計測機器 表面分析装置 イオン銃/電子分光器 (CMA) FIG-5 パッケージ
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

本イオン銃は、ICF70取付のコンパクトなイオン銃でありながら、最大10 μAのビーム電流、150 μm以下のビーム径、2 mA/cm2以上の最大電流密度を実現した画期的なイオン銃です。さらにフローティング機構を搭載しているため低速イオンビームを高輝度で得られるようになりました。

■特長

・フルベーカブルな構造により超高真空に対応します。 ・高イオン電流密度 (>2 mA/cm2 5 kV) により高速スパッタエッチングが可能です。 ・イオンビーム径を150 μm以下 (5 kV) まで絞ることが可能です。 ・フローティングレンズ搭載により、超低エネルギー (10eV) から5keVまでのイオンビームの利用が可能になりました。 ・差動排気を行った場合、イオン照射中でも装置内の圧力を超高真空に保つことが可能です。 ・フィラメントのアセンブリ化により、フィラメント交換が容易になりました。 ・外部制御により、加速電圧のON/OFFおよびラスター制御 (X/Y独立 0-10 V) が可能です。

  • シリーズ

    分析・計測機器 表面分析装置 イオン銃/電子分光器 (CMA) FIG-5 パッケージ

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分析・計測機器 表面分析装置 イオン銃/電子分光器 (CMA) FIG-5 パッケージ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) イオン銃 加速電圧 (kV) イオン銃 最大ビーム電流 (μ) イオン銃 低速ビーム電流 (nA) イオン銃 最大ビーム電流密度 (mA/cm2) イオン銃 最小ビーム径 (μm) イオン銃 ビーム偏向 (mm) イオン銃 ラスター範囲 (mm) イオン銃 ソースタイプ イオン銃 フィラメント交換 イオン銃 差動圧 イオン銃 動作距離 (mm) コントロール 加速電圧 (kV) コントロール フロート電圧 (V) コントロール 外部制御 コントロール 寸法 (W×H×D) (mm) コントロール 電力 コントロール 質量 (kg)
分析・計測機器 表面分析装置 イオン銃/電子分光器 (CMA) FIG-5 パッケージ-品番-FIG-5

FIG-5

要見積もり

0~5

10以上 (@5kV)

12 (@10eV)

2以上

200以下

機械的:± 5、静電的:± 3

最大10×10

電子衝撃式

450時間使用毎

10000:1

30~70

0~5

0~500

加速電圧ON/OFF、ラスタ制御

482×176×375

AC100/115V 1.5A

18.2

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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