分析・計測機器 表面分析装置 イオン銃／電子分光器 (CMA) FIG-5 パッケージ
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
本イオン銃は、ICF70取付のコンパクトなイオン銃でありながら、最大10 μAのビーム電流、150 μm以下のビーム径、2 mA/cm2以上の最大電流密度を実現した画期的なイオン銃です。さらにフローティング機構を搭載しているため低速イオンビームを高輝度で得られるようになりました。■特長
・フルベーカブルな構造により超高真空に対応します。 ・高イオン電流密度 (>2 mA/cm2 5 kV) により高速スパッタエッチングが可能です。 ・イオンビーム径を150 μm以下 (5 kV) まで絞ることが可能です。 ・フローティングレンズ搭載により、超低エネルギー (10eV) から5keVまでのイオンビームの利用が可能になりました。 ・差動排気を行った場合､イオン照射中でも装置内の圧力を超高真空に保つことが可能です。 ・フィラメントのアセンブリ化により、フィラメント交換が容易になりました。 ・外部制御により、加速電圧のON/OFFおよびラスター制御 (X/Y独立 0-10 V) が可能です。-
シリーズ
分析・計測機器 表面分析装置 イオン銃／電子分光器 (CMA) FIG-5 パッケージ
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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カテゴリ
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分析・計測機器 表面分析装置 イオン銃／電子分光器 (CMA) FIG-5 パッケージ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | イオン銃 加速電圧 (kV) | イオン銃 最大ビーム電流 (μ) | イオン銃 低速ビーム電流 (nA) | イオン銃 最大ビーム電流密度 (mA／cm2) | イオン銃 最小ビーム径 (μm) | イオン銃 ビーム偏向 (mm) | イオン銃 ラスター範囲 (mm) | イオン銃 ソースタイプ | イオン銃 フィラメント交換 | イオン銃 差動圧 | イオン銃 動作距離 (mm) | コントロール 加速電圧 (kV) | コントロール フロート電圧 (V) | コントロール 外部制御 | コントロール 寸法 (W×H×D) (mm) | コントロール 電力 | コントロール 質量 (kg) |
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FIG-5 |
要見積もり | 0~5 | 10以上 (＠5kV) | 12 (@10eV) | 2以上 | 200以下 | 機械的：± 5、静電的：± 3 | 最大10×10 | 電子衝撃式 | 450時間使用毎 | 10000：1 | 30~70 | 0~5 | 0~500 | 加速電圧ON/OFF、ラスタ制御 | 482×176×375 | AC100/115V 1.5A | 18.2 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
