分析・計測機器 表面分析装置 四重極型二次イオン質量分析装置 (D-SIMS) PHI ADEPT-1010
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
二次イオン質量分析法 (SIMS：Secondary Ion Mass Spectrometry) は試料にイオンを照射し、試料から放出される二次イオンを質量分析することによって、深さ方向の元素分布を高感度におこなう手法です。 ADEPT-1010は、四重極型質量分析器を持ち、半導体などの浅く打ち込まれたドーパントの分析や薄膜多層膜の分析に適した装置です。高輝度低エネルギーフローティングイオン銃の採用により極表面の深さ方向分析を高感度、高速分析で行うことが可能です。■特長
・〜250 eV/Oxygen atomの一次イオンビーム照射により、究極の深さ方向分解能を達成 ・高透過率の二次イオン光学系により、ダイナミックレンジならびに検出下限を大幅に改善 ・全自動 5軸フルオートステージの採用により、任意の設定による自動分析が可能 ・垂直入射から斜め入射 (酸素リーク) まで高感度測定が可能-
シリーズ
分析・計測機器 表面分析装置 四重極型二次イオン質量分析装置 (D-SIMS) PHI ADEPT-1010
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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カテゴリ
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分析・計測機器 表面分析装置 四重極型二次イオン質量分析装置 (D-SIMS) PHI ADEPT-1010 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 酸素ビーム | セシウムビーム | 到達圧力 |
|---|---|---|---|---|---|
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PHI ADEPT-1010 |
要見積もり |
感度：2×10^7cps ビーム電圧：0.25~8kV |
感度：2×10^7cps ビーム電圧：0.25~11kV |
1.2×10^-8Pa以下 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
