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分析・計測機器 表面分析装置 四重極型二次イオン質量分析装置 (D-SIMS) PHI ADEPT-1010-PHI ADEPT-1010
分析・計測機器 表面分析装置 四重極型二次イオン質量分析装置 (D-SIMS) PHI ADEPT-1010-アルバック販売株式会社

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■概要

二次イオン質量分析法 (SIMS：Secondary Ion Mass Spectrometry) は試料にイオンを照射し、試料から放出される二次イオンを質量分析することによって、深さ方向の元素分布を高感度におこなう手法です。 ADEPT-1010は、四重極型質量分析器を持ち、半導体などの浅く打ち込まれたドーパントの分析や薄膜多層膜の分析に適した装置です。高輝度低エネルギーフローティングイオン銃の採用により極表面の深さ方向分析を高感度、高速分析で行うことが可能です。

■特長

・〜250 eV/Oxygen atomの一次イオンビーム照射により、究極の深さ方向分解能を達成 ・高透過率の二次イオン光学系により、ダイナミックレンジならびに検出下限を大幅に改善 ・全自動 5軸フルオートステージの採用により、任意の設定による自動分析が可能 ・垂直入射から斜め入射 (酸素リーク) まで高感度測定が可能

  • シリーズ

    分析・計測機器 表面分析装置 四重極型二次イオン質量分析装置 (D-SIMS) PHI ADEPT-1010

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分析・計測機器 表面分析装置 四重極型二次イオン質量分析装置 (D-SIMS) PHI ADEPT-1010 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 酸素ビーム セシウムビーム 到達圧力
分析・計測機器 表面分析装置 四重極型二次イオン質量分析装置 (D-SIMS) PHI ADEPT-1010-品番-PHI ADEPT-1010

PHI ADEPT-1010

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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