分析・計測機器表面分析装置飛行時間型二次イオン質量分析装置 (TOF-SIMS) PHI nanoTOF II™-PHI nanoTOF II™

分析・計測機器表面分析装置飛行時間型二次イオン質量分析装置 (TOF-SIMS) PHI nanoTOF II™
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この製品について

■概要nanoTOF IIは、イオン透過特性に優れたトリプルフォーカス静電アナライザ (TRIFT型アナライザ) を継承しつつ、新しい一次イオン銃により基本性能が大幅に向上しました。さらに、刷新したソフトウェアにより快適な操作環境をご提供します。目的に応じて豊富なオプションを選択可能な最新鋭のTOF-SIMSです。

■特長・TOF-SIMSは基礎研究分野のみでなく、製品の評価、故障解析など幅広い分野で利用されてきています。
・テストケースで作られた平坦なサンプルのみではなく、製品化された、例えば複雑な構造を持つ様な試料等が評価されるようになってきました。
・本製品は、TRIFTの持つ光学的特長から試料表面の凹凸や形状、また導電物や絶縁物が複雑に組み込まれた試料などに最も強みを発揮する実用的なTOF-SIMS装置です。

■複雑な形状の試料に適したTRIFT™型アナライザトリプルフォーカス静電アナライザ (TRIFT型アナライザ) は、広いエネルギーバンドパスと大きな取り込み立体角により、高質量分解能と高検出感度測定を同時に実現します。さらに100 μmを超える深い焦点深度により、形状による影響を抑えたイメージングを可能にします。

高精度測定を実現する一次イオン銃
■新しいイオン銃により最小ビーム径70 nm以下を実現イオン源は、ガリウム、金、ビスマスから選択可能です。

■新開発一次イオン銃の性能新開発一次イオン銃により、最小70 nm以下の空間分解能を可能にしました。さらに、新設計パルス圧縮 (バンチング) 機構の採用により、感度・空間分解能・質量分解能の性能を同時に高めました。

■分析視野 5 μmで分子分布観察が可能に従来AFMなどで観察をしていたサブミクロン領域の相分離構造を分子分布として明瞭に観察することが可能です。

■高質量分解能モードでも鮮明なイメージ取得が可能nanoTOF IIは、広い質量範囲にわたって高感度・高空間分解能・高質量分解能を同時に実現し、より鮮明な分子イメージングを提供します。