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分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 G-TRANシリーズ ピラニゲージ SP1-SP1
分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 G-TRANシリーズ ピラニゲージ SP1-アルバック販売株式会社

分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 G-TRANシリーズ ピラニゲージ SP1
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■概要

センサユニット (SP1) は、G-TRANシリーズのピラニゲージ型の計測ユニットです。センサユニットは、「測定子と回路部が一体型 (測定子の交換可能) 」の構造となっており、コストダウンや省スペース化に適した真空計となっております。

■用途

・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に ・炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に ・インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に

■特長

・トランスデューサ仕様：圧力表示器が不要な場合、真空計にかかるコストの低減化・制御盤まわりの省スペース化・省配線化などを実現 ・測定子の交換が容易 ・フィラメント材には耐食性に富んだ白金を使用 ・今までお使いいただいている測定子 (SP1：WP-01, 02, 03, 16) がそのまま使用可能 ・セットポイント2点の出力が可能 ・SP1：圧力は0～5V出力 (非線形出力) ・電源電圧：DC24V入力で作動可能

■購入時の注意点

測定子の種類ご指定ください。 ※取付取合い (サイズ、形状) により測定子型式が変わります。 1. WP-01 (Φ18ゲージポート) 2. WP-02 (Φ15ゲージポート) 3. WP-03 (Rc 3/8 PTネジ) 4. WP-16 (NW16) ※ディスプレイ、ディスプレイユニットケーブル (SP1⇔ディスプレイユニット) は別売りになります。 ※ケーブル長ご指定ください。 ※ディスプレイ：ISG1、IM1R1、IM2R2 ※ディスプレイユニットケーブル：2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m、45m、50m、60m、70m、80m、90m、100m

  • シリーズ

    分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 G-TRANシリーズ ピラニゲージ SP1

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分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 G-TRANシリーズ ピラニゲージ SP1 品番1件

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SP1

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測定圧力

0 - 100 Pa 100 - 1000 Pa 1000 - 10000 Pa 10000 - 100000 Pa 100000 - 1000000 Pa 1000000 - 5000000 Pa

精度

0 - 1 % 1 - 5 % 5 - 10 % 10 - 20 % 20 - 30 %

使用温度範囲

-10 - 0 ℃ 0 - 10 ℃ 10 - 40 ℃ 40 - 50 ℃

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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