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FPD各種部材 比類なき高視野 (30×50mm) ・高分解能 (標準50nm／オプション10nm) 干渉型 3D-レーザ走査イメージャ-LSMi-7000
FPD各種部材 比類なき高視野 (30×50mm) ・高分解能 (標準50nm／オプション10nm) 干渉型 3D-レーザ走査イメージャ-株式会社ワイ・ドライブ

FPD各種部材 比類なき高視野 (30×50mm) ・高分解能 (標準50nm／オプション10nm) 干渉型 3D-レーザ走査イメージャ
株式会社ワイ・ドライブ

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この製品について

■レーザ走査を用いた初めての干渉計測

光沢紙程度の反射で干渉縞が出現、干渉縞で50nmの変化をとらえます。

■5×50mmの範囲を3D形状計測できる

・弊社独自のマルチスキャンを用いてもっと大きな範囲も精密計測可能。 ・45度までの傾斜があるものの形状測定が可能です。 ・キズや深い穴の欠陥も検出可能です。 ・円筒面の形状計測や画像取得も可能です。 ・モニター上で拡大画像を見ることができます。

  • シリーズ

    FPD各種部材 比類なき高視野 (30×50mm) ・高分解能 (標準50nm／オプション10nm) 干渉型 3D-レーザ走査イメージャ

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FPD各種部材 比類なき高視野 (30×50mm) ・高分解能 (標準50nm／オプション10nm) 干渉型 3D-レーザ走査イメージャ 品番3件

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FPD各種部材 比類なき高視野 (30×50mm) ・高分解能 (標準50nm／オプション10nm) 干渉型 3D-レーザ走査イメージャ-品番-LSMi-7000

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測定範囲 mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 160,000 160,000 - 350,000

精度 μm

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400

測定速度 点/秒

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000 1,000,000 - 2,000,000

総重量 kg

0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 4,000 4,000 - 8,000

測定原理

ポイントオートフォーカス法 垂直⾛査⼲渉法

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