分析・観察・評価装置 UHV対応レーザー顕微鏡装置-UHV対応レーザー顕微鏡装置

分析・観察・評価装置 UHV対応レーザー顕微鏡装置
北野精機株式会社

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この製品について

■特徴本装置は、走査型レーザー顕微鏡を使用し、試料を真空中や高温・ガス雰囲気など様々な環境において挙動変化を観る観察・検査装置です。トランスファーポートを設けてありますので成膜装置との連結により試料を成膜後暴露することなく観察が可能になります。顕微鏡の解像度は0.3μmに達し焦点深度も深く三次元形状測定も可能です。

■構成・走査型レーザー顕微鏡
・水冷付きUHVチャンバー
・TMP&RP排気ユニット
・加熱機構付きマニピュレーター
・ガス混合パネル (IN2系OUT1系) 