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ブライトライトウェハ表面検査装置 V2000-V2000
ブライトライトウェハ表面検査装置 V2000-ハイソル株式会社

ブライトライトウェハ表面検査装置 V2000
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V2000ブライトライトシステムは、使いやすく効率的にウェハ表面のさまざまなタイプの欠陥を検査することができます。システムは自動または手動で操作させることが出来ます。 自動モードにおいては、ソフトウェア上で作成したレシピを使用して検査を行うことが出来、手動モードにおいては様々なプロセスを任意で行うことが可能となります。なお、自動・手動とも、全ての操作は、グラフィカルインターフェイスを通して実行することになります。

■特長

・装置にウェハカセットをセットするとマッピングを自動的に行い、ソフトウェアにその情報が記憶されます。 ・デュアルオペレーションモード (オート・マニュアル) により、効率性と操作性を両立させることができます。 ・ソフトウェア上でのレシピ作成により、ウェハ検査プロセスを容易に実施することが出来ます。レシピは装置中央のタッチパネルを操作させることで作成することができます。このレシピは全てのオペレータが共有することが可能となります。 ・3軸に傾斜・回転を行うチャックとブライトライト照射によりウェハ検査に最適な環境を作り出します。

  • シリーズ

    ブライトライトウェハ表面検査装置 V2000

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会社概要

ハイソル株式会社は、半導体、車載デバイス、センサー、LD・LED分野で、輸入製品の販売、及び、各種製造装置の開発・設計・製作・販売を行っている企業です。所在地は東京都台東区です。 1967年に、ウエスト・ボンド社製ワイヤ...

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