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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 流量(N2換算流量) | バルブタイプ | 制御流量範囲 | 流量精度 | 流量設定信号 | 流量出力信号 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 最大動作圧力 | 耐圧力 | 使用保証温度 | 外部リーク | 取付姿勢 | 供給電源電圧、消費電流 | 通信方式 | 接ガス部材質 | シール部材質 | アクチュエータ方式 | 表面処理 | 接続継手 | デジタル通信 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
FCST1005 (M) ZF / FCST1005 (M) ZD (DeviceNet) |
要見積もり |
Bin1：30SCCM、Bin2：100SCCMBin3：300SCCM、Bin4：1SLMBin5：3SLM |
NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン |
2~100％F.S |
100~25％：±1.0％S.P、25~2％：±0.25％F.S(精度保証範囲15~35℃) |
0.1~5VDC |
0~5VDC |
±0.2％F.S |
≦1sec |
50~300KPa(Ar：100~300kPa) |
400KPaG(Ar：500kPaG) |
1MPaG |
5~50℃ |
メタルシール：1×10-11Pa･m3/secHeラバーシール：1×10-7Pa･m3/secHe |
指定なし(自由) |
+15VDC：50mA、-15VDC：200mADeviceNet：+11~24VDC、5.5VA(5.5W) |
アナログ：0~5VDC/デジタル：RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet |
SUS316L、磁性ステンレス、Hastelloy(センサー部)、PTFE |
メタルシール：SUS316Lラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム |
ソレノイドアクチュエータ |
EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し |
1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal |
RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台 |
|
|
|
FCST1030 (M) ZF / FCST1030 (M) ZD (DeviceNet) |
要見積もり |
Bin6：10SLMBin7：30SLM |
NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン |
2~100％F.S |
100~25％：±1.0％S.P、25~2％：±0.25％F.S(精度保証範囲15~35℃) |
0.1~5VDC |
0~5VDC |
±0.2％F.S |
≦1sec |
NO50~300KPa(3~10SLM)(Ar：250~450kPa)150~300KPa(11~30SLM)NC50~300KPa(3~10SLM)100~300KPa(11~30SLM)(Ar：150~400kPa) |
400KPaG(Ar：500kPaG) |
1MPaG |
5~50℃ |
メタルシール：1×10-11Pa･m3/secHeラバーシール：1×10-7Pa･m3/secHe |
指定なし(自由) |
+15VDC：50mA、-15VDC：200mADeviceNet：+11~24VDC、5.5VA(5.5W) |
アナログ：0~5VDC/デジタル：RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet |
SUS316L、磁性ステンレス、Hastelloy(センサー部)、PTFE |
メタルシール：SUS316Lラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム |
ソレノイドアクチュエータ |
EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し |
1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal |
RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台 |
|
|
|
FCST1050 (M) ZF / FCST1050 (M) ZD (DeviceNet) |
要見積もり |
Bin8：50SLM |
NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン |
2~100％F.S |
100~25％：±1.0％S.P、25~2％：±0.25％F.S(精度保証範囲15~35℃) |
0.1~5VDC |
0~5VDC |
±0.2％F.S |
≦1sec |
200~300KPa(Ar：250~450kPa) |
400KPaG(Ar：500kPaG) |
1MPaG |
5~50℃ |
メタルシール：1×10-11Pa･m3/secHeラバーシール：1×10-7Pa･m3/secHe |
指定なし(自由) |
+15VDC：50mA、-15VDC：200mADeviceNet：+11~24VDC、5.5VA(5.5W) |
アナログ：0~5VDC/デジタル：RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet |
SUS316L、磁性ステンレス、Hastelloy(センサー部)、PTFE |
メタルシール：SUS316Lラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム |
ソレノイドアクチュエータ |
EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し |
1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal |
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使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
