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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 流量(N2換算流量) | 対応ガス種 | バルブタイプ | 制御流量範囲 | 流量精度 | 流量設定(メーターの場合は対象外) | 流量出力 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 耐圧力 | 使用保証温度 | 外部リーク | 取付姿勢 | 供給電源電圧、消費電流 | 通信方式 | 接ガス部材質 | シール部材質 | アクチュエータ方式 | 表面処理 | 接続継手 | ガス種 | 流量設定 | 流量設定・出力信号/表示 | 電源、消費電流 | 付属品 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
C2005 |
要見積もり |
10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM |
各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい) |
NC：ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S(メーターの場合は対象外) |
±1％F.S(精度保証範囲15~35℃) |
本体表示設定器・イベント入出力切替デジタル：RS485アナログ：0.1~5VDC/4.3~20mA(任意切替) |
本体表示器：7セグメントLEDデジタル：RS485アナログ：0~5VDC/4~20mA(任意切替) |
±0.2％F.S |
≦2sec |
50~300KPa |
1MPa(G) |
5~50℃、85％RH以下 |
1×10-7Pa･m3/secHe |
指定なし(自由) |
+24VDC、250mA未満 |
デジタル：RS485アナログ：0~5VDC/4~20mA(任意切替) |
SUS316、PTFE、フッ素ゴム |
フッ素ゴム |
ソレノイド(メーターの場合は対象外) |
機械加工仕上げ |
1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 |
- | - | - | - | - | |
|
|
C2020 |
要見積もり |
10SLM |
各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい) |
NC：ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S(メーターの場合は対象外) |
±1％F.S(精度保証範囲15~35℃) |
本体表示設定器・イベント入出力切替デジタル：RS485アナログ：0.1~5VDC/4.3~20mA(任意切替) |
本体表示器：7セグメントLEDデジタル：RS485アナログ：0~5VDC/4~20mA(任意切替) |
±0.2％F.S |
≦2sec |
100~300KPa |
1MPa(G) |
5~50℃、85％RH以下 |
1×10-7Pa･m3/secHe |
指定なし(自由) |
+24VDC、250mA未満 |
デジタル：RS485アナログ：0~5VDC/4~20mA(任意切替) |
SUS316、PTFE、フッ素ゴム |
フッ素ゴム |
ソレノイド(メーターの場合は対象外) |
機械加工仕上げ |
1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 |
- | - | - | - | - | |
|
|
C2020 |
要見積もり |
new20SLM |
各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい) |
NC：ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S(メーターの場合は対象外) |
±1％F.S(精度保証範囲15~35℃) |
本体表示設定器・イベント入出力切替デジタル：RS485アナログ：0.1~5VDC/4.3~20mA(任意切替) |
本体表示器：7セグメントLEDデジタル：RS485アナログ：0~5VDC/4~20mA(任意切替) |
±0.2％F.S |
≦2sec |
200~300KPa |
1MPa(G) |
5~50℃、85％RH以下 |
1×10-7Pa･m3/secHe |
指定なし(自由) |
+24VDC、250mA未満 |
デジタル：RS485アナログ：0~5VDC/4~20mA(任意切替) |
SUS316、PTFE、フッ素ゴム |
フッ素ゴム |
ソレノイド(メーターの場合は対象外) |
機械加工仕上げ |
1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 |
- | - | - | - | - | |
|
C1005 |
要見積もり |
10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM |
各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい) |
NO：ノーマルオープンnewNC：ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) |
5~100％F.S(メーターの場合は対象外) |
±2％F.S[※±1％F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)※詳細はお問い合わせ下さい。 |
0.25~5VDC(メーターの場合は対象外) |
0~5VDC |
±0.2％F.S |
≦6sec |
50~300KPa |
1MPa(G) |
5~50℃、85％RH以下 |
1×10-7Pa･m3/secHe |
指定なし(自由) |
+15VDC：60mA、-15VDC：150mA |
アナログ：0~5VDC |
SUS316L、PTFE、フッ素ゴム |
フッ素ゴム |
サーマル(メーターの場合は対象外) |
機械加工仕上げ |
1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 |
- | - | - | - | - | |
|
|
C1020 |
要見積もり |
10,20SLM |
各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい) |
NO：ノーマルオープンnewNC：ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) |
5~100％F.S(メーターの場合は対象外) |
±2％F.S[※±1％F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)※詳細はお問い合わせ下さい。 |
0.25~5VDC(メーターの場合は対象外) |
0~5VDC |
±0.2％F.S |
≦6sec |
50~300KPa |
1MPa(G) |
5~50℃、85％RH以下 |
1×10-7Pa･m3/secHe |
指定なし(自由) |
15VDC：60mA、-15VDC：150mA |
アナログ：0~5VDC |
SUS316L、PTFE、フッ素ゴム |
フッ素ゴム |
サーマル(メーターの場合は対象外) |
機械加工仕上げ |
1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 |
- | - | - | - | - | |
|
|
C1030 / C1050 |
要見積もり |
30,50SLM |
Air・N2・Ar・H2・CO2・O2・He |
NO：ノーマルオープンnewNC：ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) |
5~100％F.S(メーターの場合は対象外) |
±2％F.S[※±1％F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)※詳細はお問い合わせ下さい。 |
0.25~5VDC(メーターの場合は対象外) |
0~5VDC |
±0.2％F.S |
≦10sec |
200~300KPa |
1MPa(G) |
5~50℃、85％RH以下 |
1×10-7Pa･m3/secHe |
指定なし(自由) |
15VDC：60mA、-15VDC：150mA |
アナログ：0~5VDC |
SUS316L、PTFE、フッ素ゴム |
フッ素ゴム |
サーマル(メーターの場合は対象外) |
機械加工仕上げ |
1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 |
- | - | - | - | - | |
|
|
C1100 |
要見積もり |
100LM |
Air・N2 |
NO：ノーマルオープンnewNC：ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) |
5~100％F.S(メーターの場合は対象外) |
±2％F.S[※±1％F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)※詳細はお問い合わせ下さい。 |
0.25~5VDC(メーターの場合は対象外) |
0~5VDC |
±0.5％F.S |
≦15sec |
200~300KPa |
1MPa(G) |
5~50℃、85％RH以下 |
1×10-7Pa･m3/secHe |
指定なし(自由) |
15VDC：60mA、-15VDC：150mA |
アナログ：0~5VDC |
SUS316L、PTFE、フッ素ゴム |
フッ素ゴム |
サーマル(メーターの場合は対象外) |
機械加工仕上げ |
1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 |
- | - | - | - | - | |
|
CUBE MFC 1005 / 1020 / 1030 / 1050 / 1100 |
要見積もり |
10SCCM~100SLM(搭載MFC/MFMに準ずる) |
- |
NO：ノーマルオープン、newNC：ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) |
5~100％F.S(メーターの場合は対象外) |
±2％F.S[※±1％F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)詳細はお問い合わせ下さい |
- | - |
±0.2％F.S |
搭載MFCに準ずる |
搭載MFCに準ずる |
1MPa(G) |
5~50℃(精度保証範囲：15~35℃)、85％RH以下(結露なきこと) |
1×10-7Pa･m3/secHe |
- | - |
アナログ：0~5VDC |
SUS316L、PTFE、フッ素ゴム |
フッ素ゴム |
サーマル(メーターの場合は対象外) |
機械加工仕上げ |
1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 |
搭載MFC/MFMに準ずる |
0.25~5VDC、10回転ポテンションメーターにて可変(メーターの場合は対象外) |
0~5VDC/DP表示：スケーリング表示(トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動) |
AC100~240V：500mA |
ACケーブル、取扱説明書 |
