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シリーズ
半導体露光装置 IoT関連デバイス向けKrFステッパー取扱企業
キヤノン電子株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 解像力 | NA (開口数) | 縮小比 | 画面サイズ | 焼付け波長 | レチクルサイズ | ウエハーサイズ | 重ね合わせ精度 | 主要オプション |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
FPA-3030EX6 |
要見積もり |
≦150nm |
0.65~0.50 (自動可変) |
1:5 |
22mm×22mm |
KrF248nm |
6inch |
100mm (4inch) /125mm (5inch) /150mm (6inch) /200mm (8inch) (選択) |
≦25nm |
特殊基板対応搬送系 |