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半導体露光装置 IoT関連デバイス向けKrFステッパー-FPA-3030EX6
半導体露光装置 IoT関連デバイス向けKrFステッパー-キヤノン電子株式会社

半導体露光装置 IoT関連デバイス向けKrFステッパー
キヤノン電子株式会社

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特長

■多様な特殊基板・小型基板に対応

実績のあるi線ステッパー「FPA-3030i5+」と共通のウエハー搬送システムを搭載し、IoT関連デバイスやパワーデバイスの製造に用いられるさまざまな材質、径、厚さの基板の搬送に対応します。

■KrFエキシマレーザーステッパーとして最高水準の性能を実現

従来機種「FPA-3000EX6」の性能を踏襲し、同等クラスのKrFエキシマレーザーステッパーとして最高水準の解像力150nm、重ね合わせ精度25nm以下、生産性 (処理能力) 毎時121枚以上※を実現します。

  • シリーズ

    半導体露光装置 IoT関連デバイス向けKrFステッパー

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半導体露光装置 IoT関連デバイス向けKrFステッパー 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 解像力 NA (開口数) 縮小比 画面サイズ 焼付け波長 レチクルサイズ ウエハーサイズ 重ね合わせ精度 主要オプション
半導体露光装置 IoT関連デバイス向けKrFステッパー-品番-FPA-3030EX6

FPA-3030EX6

要見積もり

≦150nm

0.65~0.50 (自動可変)

1:5

22mm×22mm

KrF248nm

6inch

100mm (4inch) /125mm (5inch) /150mm (6inch) /200mm (8inch) (選択)

≦25nm

特殊基板対応搬送系
PCリモートコンソール
GEM対応オンラインソフト
ペリクル検査装置

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

キヤノン電子株式会社は本社を埼玉県秩父市に構え、精密機械器具や電子・電気機械器具などの開発・生産を事業内容とする企業である。 1954年に株式会社秩父英工舎を設立。その後、1964年に現在の「キヤノン電子株式会社」へ商...

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  • 本社所在地: 埼玉県
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