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シリーズ
自由度が高く高精度なヘキサホッドステージ SmarPod取扱企業
株式会社フィジックステクノロジーカテゴリ
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精密ステージの製品428点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を1件表示しています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 移動距離 | 耐荷重 | 外形 | 重量 | 分解能 (Closed loop時) | 繰返し精度 (Closed loop時) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
SmarPod CLS-32 |
要見積もり |
X=20mm、Y=20mm、Z=11mm、θx=22°、θy=25°、θz=38° |
垂直：5N、水平：2.5N |
φ124x54mm |
520g |
1nm、3μrad |
±50nm |
精密ステージの中で同じ条件の製品
使用用途: 光学調整
精密ステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置アクティブ軸
X Y Z θZ移動範囲 mm
0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000最小増分モーション µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600駆動力 N
0 - 1 1 - 20 20 - 200許容押し力 N
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500ドライブの種類
ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーターガイド
クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング返答率
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返答時間
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