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シリーズ
中型三次元測定機 Excel 510シリーズ取扱企業
イースタン電子工業株式会社カテゴリ
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平面度測定器の製品68点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | マルチセンサー | Z軸 (高さ) | 測定精度 | 測定速度 | 測定容積 (X,Y,Zmm) | 測定重量 | 本体寸法 (LWH,mm) | 本体重量 | XY軸 精度 (μm) | Z軸 精度 (μm) | エンコーダ分解能 | 基本倍率 | 光学ズーム | デジタルズーム | 綜合倍率 | 最大XY速度 | 最大Z速度 | 光源 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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511 HC/HM |
要見積もり |
画像 (タッチプローブ、レーザー、随時追装可) |
最大250mm |
XY軸:2.5~3.5+L/200~300、Z軸:2.5~3.9+L/100~150 (実力値は半分以下) |
世界最速500mm/秒 |
420x520x160 |
100kg |
1,295x1,221x1,629 |
732kg |
2.8+L/200 |
2.8+L/100 |
0.05μm |
1x (LWD) /2x (SWD) |
6.5x |
3x |
6.5x=21x~370x/42x~740x,12x=18x~540x/36x~1,080x |
500mm/s |
250mm/s |
落射照明 / 透過照明 / 同軸照明: 白色LEDカラーシステム (UC) 、赤色LEDモノクロシステム (UM) 、マクロリングライト照明:40セグメント |
平面度測定器の中で同じ条件の製品
使用用途: 形状測定
平面度測定器をフィルターから探すことができます
使用用途
#研磨盤測定 #基板ウェハ測定 #形状測定 #供試体測定 #フィルム測定 #ガラス測定 #平行度測定 #真直度測定 #直角度測定 #微小形状測定精度 mm
0 - 0.01 0.01 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 1本体重量 kg
0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 7,000 7,000 - 16,000分解能 μm
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1電源 V
90 - 120 120 - 150 150 - 180 180 - 210 210 - 240 240 - 270