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全自動マスクアライナー ALA410
株式会社三明

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この製品について

量産工程用 全自動露光装置

■特徴

・高い汎用性 (〇型 □型 試料対応) ・信頼性の高い球面軸受 平行機構 ・シンプル構造で低価格を実現

  • シリーズ

    全自動マスクアライナー ALA410

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2024年10月3日にレビュー済み

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全自動マスクアライナー ALA410 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) 露光光源 露光解像度 アライメント精度 サイズ 装置寸法 重量

ALA410

要見積もり

照度分布±5%以内

・ソフトコンタクト L/S3μm
・ハードコンタクト L/S1μm

Topーside ±1μm
Bottom-side ±3μm

4in

2,100 (H) ×1,300 (W) ×1,500 (D) mm
自立型

900kg

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FPD露光装置

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使用用途

#半導体製造 #微細加工 #フォトリソグラフィ #研究開発 #MEMS #バイオテクノロジー #3次元露光 #水晶発振子製造 #タッチパネル #ディスプレイ

露光方式

マスク露光型 スキャン露光型 マスクレス露光型

光源種類

水銀ランプ型 エキシマレーザー型 LED光源型

解像方式

接触露光型 近接露光型 投影露光型

搬送方式

ステージ移動型 ロール搬送型

対応サイズ

大型基板対応型 中小型基板対応型

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会社概要

株式会社三明は、三明電子産業株式会社、三明機工株式会社を含む三明グループの営業、企画および資本を統括するホールディングカンパニーです。 株式会社安川電機の機械工業用ロボットやコントローラーを取り扱っている他、三明オリジ...

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  • 本社所在地: 静岡県

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