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■成功の積み重ね… ザイゴの新しい Qualifire™ レーザー干渉計

50年以上にわたり、位相シフト干渉計は高精度の表面形状測定機として選ばれてきた技術です。 これらの干渉計は、光学部品、システムアセンブリの表面形状誤差と透過波面を高速かつ高い信頼性で測定します。 研究環境から広範な産業用途まで、レーザー干渉計は品質保証や生産後の解析のための高レベルなデータトレーサビリティを提供します。 レーザー干渉計は製造工程に不可欠なものとなっています。ZYGOのQualifire™は、この種の装置における既知の課題に対するソリューションを提供することで、レーザー干渉計の飛躍的な進歩を象徴しています。

■位相シフト干渉計への新しいアプローチ

多くの最新システムにおける光学計測に共通するフィゾー設計では、固定された軸上のコヒーレント点光源を使用して干渉計キャビティを作りだします。多くの場合で、これは非常にうまく機能し、 位相シフトと固定化された照明がゴールドスタンダードであることに変わりはありませんが、ZYGOは常に改良を模索しており、新しいフライング・スポット・オプションで動的照明の利点を追求しました。 Qualifire™レーザー干渉計は、多くの斬新な新機能を備えています。 ・コヒーレント・アーティファクト低減 ・プラノキャビティオートフォーカス ・ステイブルズーム ・スマートアクセサリ

■Qualifire™—合理化されたデザインに高い機能性

Qualifire™には、4インチ口径とクラス最小の6インチ口径があります。一部のQualifire™バージョンは、重量が23 kg (50ポンド) を下回るため、移動が非常に簡単です。重量と大きさのもう一つの利点は、内蔵された位相測定レセプタクル (PMR) です。 これにより、ユニットを移動する際にPMR内のPZTスタックが損傷する可能性を無くします。 その他の改良点としては、握りやすいハンドルと、便利でアクセスしやすいOn／Offスイッチがあります。さらに、光学系が密閉されているため、時間とともに蓄積し、システムのアーチファクトの原因となるホコリに対する保護が強化されています。また、このレイアウトは保守点検を容易にします。光学部品に影響を与えることなく、レーザーを交換することができます。

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