Kinematicシリーズ一体型アライメントステージ 9082-M-9082-M

Kinematicシリーズ一体型アライメントステージ 9082-M
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この製品について

■特徴・真空対応の標準モデルあり
・安定したキネマティックステージ
・4～5軸設計
・すべての軸調整が前面にある簡単操作
・薄型のプラットフォーム

New Focus™では独自の視点でキネマティクステージを製造しています。ほとんどのポジショナは複数の単軸ステージを組み合わせて作成されますが、このポジショナは1個のステージをいくつかのアクチュエータで駆動します。

その結果、ビーム高さを非常に低くし、ぐらつきや誤差を最小限抑えることができます。これらのステージは、光軸を別の光軸に合わせるために必要な自由度 (2つの角度と2つの直進) をすべて持つように設計されています。

焦点調整機能を持つ5軸ステージに自由度を追加しました。各自由度のうち1軸だけが可動または固定されているようなステージは、他の一般的なステージと若干異なる動作をします。

New Focusのキネマティックステージには、稼動プレートの側面に2個のアクチュエータがついています。傾きを伴わない純粋な平行移動を行いたい場合は、この両スクリューを同じ量だけ回転させます。

アクチュエータを1個だけ回転させると、他方のアクチュエータに対してプレートを回転させる場合は、2個のスクリューを互いに反対方向にまわします (この機構を理解していただければよりシンプルかつ直感的に操作できます) 。