ピエゾ駆動ステージ回転ステージ ROTOR
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この製品について

■LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ・X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転
・最大1,500μmのロングトラベル達成
・クローズドループオプション
・真空／極低温対応可能

piezosystem jena社では、ミラーやLDなど光学部品の精密ポジショニング (nanopositioning) 及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ類 (piezo stages) を製造しています。非常に多彩な製品群で、半導体、エレクトロニクス、バイオなど幅広い分野・用途に最適なソリューションを提供します。

高精度なピエゾ駆動ステージながら、X軸リニアステージでは移動量最大1,500μmのロングトラベルを達成。またいずれのステージタイプもクローズドループモデルがございます。

■回転ステージ ROTORピエゾ駆動による高い分解能と、高い中心軸精度をもつ1軸の低電圧回転ステージです。ステアリング及びスキャンレンジは 最大11mradです。力学的性能ににも優れ、コンパクトパッケージながら大荷重でも高精度な動作が得られます。また硬性湾曲ヒンジによるモノリシック・ガイドで、機械的遊びや摩擦が少なくなっています。
・回転量： 最大11mrad
・優れた力学的性能
・高い平行度
・高い中心軸精度 0.2µrad
・分解能 0.02µrad
・3mm径開口
・温度補正機能内蔵