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ピエゾ駆動ステージ 回転ステージ ROTOR-ROTOR
ピエゾ駆動ステージ 回転ステージ ROTOR-株式会社日本レーザー

ピエゾ駆動ステージ 回転ステージ ROTOR
株式会社日本レーザー

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この製品について

■LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ

・X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転 ・最大1,500μmのロングトラベル達成 ・クローズドループオプション ・真空／極低温対応可能 piezosystem jena社では、ミラーやLDなど光学部品の精密ポジショニング (nanopositioning) 及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ類 (piezo stages) を製造しています。非常に多彩な製品群で、半導体、エレクトロニクス、バイオなど幅広い分野・用途に最適なソリューションを提供します。 高精度なピエゾ駆動ステージながら、X軸リニアステージでは移動量最大1,500μmのロングトラベルを達成。またいずれのステージタイプもクローズドループモデルがございます。

■回転ステージ ROTOR

ピエゾ駆動による高い分解能と、高い中心軸精度をもつ1軸の低電圧回転ステージです。ステアリング及びスキャンレンジは 最大11mradです。力学的性能ににも優れ、コンパクトパッケージながら大荷重でも高精度な動作が得られます。また硬性湾曲ヒンジによるモノリシック・ガイドで、機械的遊びや摩擦が少なくなっています。 ・回転量： 最大11mrad ・優れた力学的性能 ・高い平行度 ・高い中心軸精度 0.2µrad ・分解能 0.02µrad ・3mm径開口 ・温度補正機能内蔵

  • シリーズ

    ピエゾ駆動ステージ 回転ステージ ROTOR

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2025年3月27日にレビュー済み

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ピエゾ駆動ステージ 回転ステージ ROTOR 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 可動軸 移動量
ピエゾ駆動ステージ 回転ステージ ROTOR-品番-ROTOR

ROTOR

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回転

最11mrad

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回転範囲θZ °

0 - 200 200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100

耐荷重 N

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500

駆動トルク N·m

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

動作電圧 V

20 - 30 30 - 40 40 - 50

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会社概要

株式会社日本レーザーは、レーザーおよび光関連製品を取り扱う、レーザー専門商社です。
1968年設立、1971年に日本電子株式会社の100％出資子会社となった後、2007年には日本初のMEBOで完全独立いたしました...

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  • 本社所在地: 東京都

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