静電容量変位センサ MicroSense 4800シリーズ
株式会社日本レーザー

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この製品について

優れた直線性と温度特性。静的な変位測定のスタンダードモデル。

■特徴・低い温度ドリフト、高い安定性
・優れた直線性
・高い分解能
・多彩なプローブバリエーション
・金属の材質や成分の影響を受けない
・真空や非磁性などさまざま測定環境に対応

MicroSense LLC独自の技術により開発された静電容量型変位センサです。被測定物に接触することなく変位を高精度に測定し、被測定物に一切損傷や負荷を与えることなく、各種形状、寸法測定、板厚測定、位置検出などが可能です。優れた直線性と温度特性を特長とし、ナノメートルレベルの高い測定分解能を実現しています。半導体検査、製造装置内での位置決めや姿勢制御など高い精度で長期間安定した性能が必要とされる用途に適しています。

■モデル4830最大3チャンネルまでゲージモジュールを実装できます。多彩な機能により、プロダクションから研究開発までさまざまな用途でご活用いただけます。
・応答周波数設定：フロントパネル上で応答周波数の切換えができます。
・レンジ切換え：変位出力の電圧感度を5倍、10倍に増幅できます。
・オートゼロ：ワンプッシュで出力電圧を0Vへ自動オフセット調整ができます。
・マニュアルオフセット調整：任意に出力電圧のオフセット調整ができます。
・デジタル出力：付属のソフトウェアにより測定データをCSV形式で取得できます。
・サンプリング周波数切換え：サンプリング周波数の切換えができます。
・外部トリガ対応：外部トリガによるデータ計測ができます。

■モデル4800マルチチャンネルコンソールに実装が可能なゲージモジュールです。±15V電源の供給により、装置への組込み用としてもご活用いただけます。
・応答周波数設定：内部のジャンパ設定により切換えが可能です。
・オフセット調整：出力電圧の±1V以内でオフセット調整ができます。

■応用例・検査製造装置内でのモーションコントロール
・精密ステージの精度評価
・平坦度、厚み測定

型番
この商品には2種類の型番があります

シリーズ
静電容量変位センサ MicroSense 4800シリーズ

取扱企業
株式会社日本レーザー

カテゴリ

センサー

変位センサー

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静電容量変位センサ MicroSense 4800シリーズ品番2件

フィルター

	商品画像	品番	価格 (税抜)	出力コネクタ形式アナログ：BNC デジタル：USB BNC	寸法本体380 (W) ×350 (D) ×142 (H) , ハンドル使用時 380 (W) ×370 (D) ×220 (H) 本体35.4 (W) ×170 (D) ×129 (H) , ユーロカード規格 3U 7HP	本体重量 6.5kg (3ch実装時) 0.5kg	測定フルスケール	出力電圧	出力分解能	出力直線性	出力温度特性	応答周波数 (＠-3dB)	使用温度範囲	使用湿度範囲
		4830	要見積もり	アナログ：BNC デジタル：USB	本体380 (W) ×350 (D) ×142 (H) , ハンドル使用時 380 (W) ×370 (D) ×220 (H)	6.5kg (3ch実装時)	±5μm~4500μm	測定フルスケール当たり±10VDC	最高0.002%FS以下 ※3	最高0.03%FS以下 ※3	0.01%FS/℃ ※4	標準：DC~1kHz (10Hz、100Hz、10kHz)	0~50℃	85%RH以下 (結露なきこと)
		4800	要見積もり	BNC	本体35.4 (W) ×170 (D) ×129 (H) , ユーロカード規格 3U 7HP	0.5kg	±5μm~4500μm	測定フルスケール当たり±10VDC	最高0.002%FS以下 ※3	最高0.03%FS以下 ※3	0.01%FS/℃ ※4	標準：DC~1kHz (10Hz、100Hz、10kHz)	0~50℃	85%RH以下 (結露なきこと)