ウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定装置 Park NX20 300mm
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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この製品について
■大型ウェーハ研究のために特別製作
NX20 300mmは、大型サンプルを最適に測定できるよう設計されました。低ノイズAFM測定を通して、300mmウェーハの領域全体を分析することができます。これにより、まったく新しい自動化測定の可能性が広がり、ユーザーはよりシンプル、且つ迅速に、そして精度の高い作業を叶えられます。■300mm サンプルステージを搭載した確かな性能を持つNX20
300mm自動XYステージをサポートする強化されたプラットフォームを持ったNX20 300mmは、ユーザーが大型試料を非常に正確で簡単に研究できるよう、さらなる進化を遂げています。■Park SmartScan™により正確な測定を簡単に
SmartScan™オペレーティングソフトウエアが搭載されているため、市場において最も操作が簡単なAFMのひとつとなりました。直観的でありながらも、非常に強力なインターフェイスにより、教育を受けていないユーザーでも、指導なしに大型サンプルをすばやくスキャンが可能です。■幅広い応用分野に対する最適化
NX20 300mmには、進化した測定及び分析機能をナノスケールで実現できる自動AFM測定法が搭載されており、熱特性やナノ機械特性イメージング機能、欠陥レビュー、電気及び磁気故障解析も兼ね備えています。粗さ、高さ及び深さの測定ができるAFMは、幅広い大型サンプルを扱う作業に理想的な装置です。-
シリーズ
ウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定装置 Park NX20 300mm
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取扱企業
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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ウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定装置 Park NX20 300mm 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | Zスキャナ スキャン範囲 | Zスキャナ ハイト (高さ) ノイズレベル | XYスキャナ スキャン範囲 | Zステージ駆動距離 | フォーカスステージ駆動範囲 | XYステージ駆動範囲 | サンプル サイズ | サンプル 重量 | 視野 | CCDピクセル |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
NX20 300mm |
要見積もり | 15μm (オプションにて30μm) | 30pm、0.5kHz bandwidth/rms (typical) | 100µm×100µm | 25mm (電動) | 8mm (電動) | 300mmx300mm (電動) | 100,150,200,300 mm ウェハー、小型サンプル マグネットサンプルホルダー、厚さ20mmまで | <500g | 840µm×630µm (10x対物レンズ使用の場合) | 5Mピクセル |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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