ウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定装置 Park NX20 300mm-NX20 300mm

ウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定装置 Park NX20 300mm
パーク・システムズ・ジャパン株式会社

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この製品について

Park NX20 300mmは、300mmX300mmのサイズの計測を完全自動化させた業界初の大型サンプル向け原子間力顕微鏡 (AFM) です。 

故障解析や品質管理における研究のために設計され、手間のかかるサンプルの交換作業もなしに300mmのウェーハ全体をより効率的に検査できます。実際の騒音水準を0.5 Å、もしくは0.3 Å RMS未満で維持させます。検証されたAFMの性能とワンクリック自動測定機能により、 サンプル毎のパラメータ調整の必要性をなくしたことで、操作工程においてより効率的でユーザーに優しい仕組みになっております。

独自のSmartScan計測インターフェイスにより、300mmX300mmの領域全面において、安定的で再現性の高い連続自動多点計測を簡単に実現できます。

■大型ウェーハ研究のために特別製作NX20 300mmは、大型サンプルを最適に測定できるよう設計されました。低ノイズAFM測定を通して、300mmウェーハの領域全体を分析することができます。これにより、まったく新しい自動化測定の可能性が広がり、ユーザーはよりシンプル、且つ迅速に、そして精度の高い作業を叶えられます。

■300mm サンプルステージを搭載した確かな性能を持つNX20300mm自動XYステージをサポートする強化されたプラットフォームを持ったNX20 300mmは、ユーザーが大型試料を非常に正確で簡単に研究できるよう、さらなる進化を遂げています。

■Park SmartScan™により正確な測定を簡単にSmartScan™オペレーティングソフトウエアが搭載されているため、市場において最も操作が簡単なAFMのひとつとなりました。直観的でありながらも、非常に強力なインターフェイスにより、教育を受けていないユーザーでも、指導なしに大型サンプルをすばやくスキャンが可能です。

■幅広い応用分野に対する最適化NX20 300mmには、進化した測定及び分析機能をナノスケールで実現できる自動AFM測定法が搭載されており、熱特性やナノ機械特性イメージング機能、欠陥レビュー、電気及び磁気故障解析も兼ね備えています。粗さ、高さ及び深さの測定ができるAFMは、幅広い大型サンプルを扱う作業に理想的な装置です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定装置 Park NX20 300mm

取扱企業
パーク・システムズ・ジャパン株式会社

カテゴリ

観察機器

AFM (原子間力顕微鏡)

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ウェーハ測定及び分析のための自動化ナノ測定装置 Park NX20 300mm 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	Zスキャナスキャン範囲	Zスキャナハイト (高さ) ノイズレベル	XYスキャナスキャン範囲	Zステージ駆動距離	フォーカスステージ駆動範囲	XYステージ駆動範囲	サンプルサイズ	サンプル重量	視野	CCDピクセル
	NX20 300mm	要見積もり	15μm (オプションにて30μm)	30pm、0.5kHz bandwidth/rms (typical)	100µm×100µm	25mm (電動)	8mm (電動)	300mmx300mm (電動)	100,150,200,300 mm ウェハー、小型サンプルマグネットサンプルホルダー、厚さ20mmまで	<500g	840µm×630µm (10x対物レンズ使用の場合)	5Mピクセル