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次世代の新機能を搭載した自動化原子間力顕微鏡 Park FX40-FX40
次世代の新機能を搭載した自動化原子間力顕微鏡 Park FX40-パーク・システムズ・ジャパン株式会社

次世代の新機能を搭載した自動化原子間力顕微鏡 Park FX40
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この製品について

■研究開発を加速する次世代テクノロジー

・研究用AFM史上初のデュアルカメラシステムを採用 ・機械学習の採用による自動最適化機能

■プローブ情報読み取り

チップキャリアのQRコードをカメラで読み取り、プローブ、モデル、対応アプリケーション、用途など必要な情報をすべて取得します。この機能により、最適なプローブを自動で選ぶことができます。

■自動プローブ交換

8つのプローブがセットされているカセットと磁気制御機構を活用することで、ユーザーの操作なしにプローブの自動交換が可能となりました。

■自動レーザーアライメント

自動レーザーアライメントは、レーザーおよびPSPDの位置を自動で最適ポジションへ調整し歪みのない鮮明なイメージングを可能にしました。

■ボウイングのないフラットな直交XYスキャン

Parkのクロストークのないスキャナ構造は、スキャン位置、スキャンレート、スキャンサイズに関わらず、フラットな直交XYスキャンを可能にします。オプティカルフラットなどの極めて平坦なサンプルや、様々なスキャンオフセットでも、バックグラウンドに湾曲が見られません。これにより、研究やエンジニアリングにおける難題にも対応できる極めて正確かつ精密なナノ計測を可能にします。

■業界をリードする低ノイズZ検出器

ParkのAFMには、低ノイズZ検出器が搭載されており、広帯域にわたって0.02nm以下のノイズを実現しています。これにより、高精度のトポグラフィーを得ることができ、エッジのオーバーシュートも発生しません。スキャンにおける時間を節約すると同時に、精度の高い正確なデータを取得することができます。

■真のノンコタクト™モード

真のノンコタクト™モードは、非接触での計測を実現しスキャン中のチップとサンプルの損傷を防ぐことが可能です。高解像度かつ高精度なデータを可能にしたPark AFM独自のスキャンモードです。

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    次世代の新機能を搭載した自動化原子間力顕微鏡 Park FX40

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