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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 最大基板サイズ | 最大基板厚 | 最大マスクサイズ | UVランプハウス | 照度 | 照度均一性 | 露光光源 | 露光波長 | 露光用タイマー | UVランプ劣化補正機能 | アライメントスコープ | 顕微鏡解像度 | アライメントギャップ測長機能 | コンタクト方法 | マニプレーター移動範囲 | 十字動ステージ移動範囲 | 電源 | ユーティリティ | 外形寸法 (mm/除振台含む) | 重量 | 除振台 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
MA-20 |
要見積もり |
φ4インチ |
2mm |
5×5インチ |
マルチミラータイプ |
＞14mW/c㎡ (at405nm) |
＜±4.0% |
UVランプ500W |
ブロードバンド (g・h・i線) |
切り換え方式、0~999.9秒 タイマーセット式、1~9,999カウント 積算光量カウンター式 |
標準装備 |
二視野顕微鏡 対物レンズ間隔18~60mm |
1.2μm (対物レンズ20×使用時) |
標準装備 |
ソフトコンタクト/ハードコンタクト |
X・Y±5mm 微動1/8mm1回転、θ:70° 微動±7°、Z:4mm (空圧駆動分1mm/粗動3mm) 微動0.16mm |
X・Y±20mm |
AC100~110V 20A |
エアー：マスクステージ/顕微鏡駆動用 0.5MPa、N2：ブローアップ用 0.5MPa、真空：マスク及び基板吸着用 -0.08MPa |
1,000W×1,300H×800D |
290kg |
標準装備 |
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使用用途
#半導体製造 #微細加工 #フォトリソグラフィ #研究開発 #MEMS #バイオテクノロジー #3次元露光 #水晶発振子製造 #タッチパネル #ディスプレイ露光方式
マスク露光型 スキャン露光型 マスクレス露光型光源種類
水銀ランプ型 エキシマレーザー型 LED光源型解像方式
接触露光型 近接露光型 投影露光型搬送方式
ステージ移動型 ロール搬送型対応サイズ
大型基板対応型 中小型基板対応型最小露光線幅 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20光源波長 nm
200 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 500 500 - 1,100露光領域 mm
0 - 50 50 - 150 150 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,100対物レンズ倍率 倍
0 - 5 5 - 15 15 - 50 50 - 100 100 - 150露光時間ショットあたり 秒
0 - 5 5 - 10 10 - 15消費電力 kW
0 - 3 3 - 6
