大型真空オーブン
三田産業株式会社

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この製品について

■概要大型の真空オーブンです。写真のタイプは、100Toorの真空到達度の仕様です。大型の真空炉は製造が難しく高度な技術を要します。弊社では、きめ細かい設計と高度な溶接技術を備えており、真空オーブンの設計製造技術が確立されております。洗浄工程やウエハーの脱泡などご使用いただいております分野も広く、温度管理もプログラム式や、レシピによる選択式などが御座います。

受注生産のためお客様の要望を組み入れる事が可能です。タイマーによる自動起動や、測定口の数、操作スイッチの配置や、装置の塗装色、パネルの塗装色、輸出向けの仕様などが御座います。ご利用のお客様も多様で幅広いニーズでご使用頂いております。SUSで製作しておりますので、長期間のご使用が可能です。

■主な用途洗浄後の真空加熱乾燥