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ゲートバルブ (エアー駆動アクチュエーター付き) KGV-2000V-P-KGV-2000V-P
ゲートバルブ (エアー駆動アクチュエーター付き) KGV-2000V-P-MDC Precision

ゲートバルブ (エアー駆動アクチュエーター付き) KGV-2000V-P
MDC Precision



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この製品について

MDC社が、新しく開発した超高真空用ゲートバルブは、従来の製品と比較して、シンプル構造となっております。が、半導体製造装置関連に使用出来ます。

  • シリーズ

    ゲートバルブ (エアー駆動アクチュエーター付き) KGV-2000V-P

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ゲートバルブ (エアー駆動アクチュエーター付き) KGV-2000V-P 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 寸法
ゲートバルブ (エアー駆動アクチュエーター付き) KGV-2000V-P-品番-KGV-2000V-P

KGV-2000V-P

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使用用途

#半導体製造 #大型ディスプレイ製造 #排気制御 #圧力調整 #ワーク搬送

駆動方式

手動型 空圧型 電動型

構造形式

スロット型 ラウンド型

シール方式

メタルシール型 エラストマーシール型 ハイブリッドシール型

呼び口径 mm

100 - 125 125 - 150 150 - 350 350 - 400

ベーキング許容温度 ℃

0 - 80 80 - 120 120 - 150 150 - 200

バルブ寿命 回

0 - 100,000 100,000 - 200,000 200,000 - 500,000 500,000 - 1,000,000 1,000,000 - 3,000,000

使用温度 ℃

-50 - 0 0 - 50 50 - 80 80 - 100 100 - 150

開放コンダクタンス L/s

0 - 100 100 - 10,000 10,000 - 50,000

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