プラズマ発生用電源・自動整合器高性能タイプ
株式会社ダイヘン

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この製品について

2レベルパルス出力機能付高周波電源

■特徴・3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも対応
・高い選択性や均一性が求められるプロセス開発に貢献
・500Wや1kWといった低パワー領域にも品揃えを拡充

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フィルター

品番	価格 (税抜)	定格出力	出力安定度	パルス周波数	外形寸法幅 (W)	外形寸法高さ (H)	外形寸法奥行き (L)
27.12MHz 高周波電源 500W～5kW	要見積もり	500W/1kW/2kW/3kW/5kW	±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内	1Hz - 100kHz (2レベル)	500W/1kW:215mm 2kW/3kW/5kW:420mm	500W/1kW/2kW/3kW:133mm (3U) 5kW:222mm (5U)	500W/1kW:430mm 2kW/3kW/5kW:500mm
40.68MHz 高周波電源 500W～5kW	要見積もり	500W/1kW/2kW/3kW/5kW	±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内	1Hz - 100kHz (2レベル)	500W/1kW:215mm 2kW/3kW/5kW:420mm	500W/1kW/2kW/3kW:133mm (3U) 5kW:222mm (5U)	500W/1kW:430mm 2kW/3kW/5kW:500mm
60MHz 高周波電源・自動整合器 500W～5kW	要見積もり	500W/1kW/2kW/3kW/5kW	±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内	1Hz - 100kHz (2レベル)	500W/1kW:215mm 2kW/3kW/5kW:420mm	500W/1kW/2kW/3kW:133mm (3U) 5kW:222mm (5U)	500W/1kW:430mm 2kW/3kW/5kW:500mm