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プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ-27.12MHz 高周波電源 500W~5kW
プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ-株式会社ダイヘン

プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ
株式会社ダイヘン

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この製品について

2レベルパルス出力機能付高周波電源

■特徴

・3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも対応 ・高い選択性や均一性が求められるプロセス開発に貢献 ・500Wや1kWといった低パワー領域にも品揃えを拡充

  • シリーズ

    プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ

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プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ 品番3件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 定格出力 出力安定度 パルス周波数 外形寸法 幅 (W) 外形寸法 高さ (H) 外形寸法 奥行き (L)
プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ-品番-27.12MHz 高周波電源 500W~5kW

27.12MHz 高周波電源 500W~5kW

要見積もり

500W/1kW/2kW/3kW/5kW

±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内

1Hz - 100kHz (2レベル)

500W/1kW:215mm
2kW/3kW/5kW:420mm

500W/1kW/2kW/3kW:133mm (3U)
5kW:222mm (5U)

500W/1kW:430mm
2kW/3kW/5kW:500mm

プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ-品番-40.68MHz 高周波電源 500W~5kW

40.68MHz 高周波電源 500W~5kW

要見積もり

500W/1kW/2kW/3kW/5kW

±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内

1Hz - 100kHz (2レベル)

500W/1kW:215mm
2kW/3kW/5kW:420mm

500W/1kW/2kW/3kW:133mm (3U)
5kW:222mm (5U)

500W/1kW:430mm
2kW/3kW/5kW:500mm

プラズマ発生用電源・自動整合器 高性能タイプ-品番-60MHz 高周波電源・自動整合器 500W~5kW

60MHz 高周波電源・自動整合器 500W~5kW

要見積もり

500W/1kW/2kW/3kW/5kW

±1%又は、±3Wのどちらか大きい方以内

1Hz - 100kHz (2レベル)

500W/1kW:215mm
2kW/3kW/5kW:420mm

500W/1kW/2kW/3kW:133mm (3U)
5kW:222mm (5U)

500W/1kW:430mm
2kW/3kW/5kW:500mm

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この商品の取り扱い会社情報

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120.5時間

会社概要

株式会社ダイヘンは、変圧器や溶接機、産業用ロボット、半導体製造装置用高周波電源など産業用製品の開発を手掛けるメーカーです。 1919年に創立し、1961年には東証一部に上場、国内外に多くの拠点を持ちます。 近年では再生可...

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  • 本社所在地: 大阪府
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