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電子線式半導体ウェーハパターン検査装置 NGR5000シリーズ-NGR5000
電子線式半導体ウェーハパターン検査装置 NGR5000シリーズ-東レエンジニアリング株式会社

電子線式半導体ウェーハパターン検査装置 NGR5000シリーズ
東レエンジニアリング株式会社



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この製品について

■概要

NGR5000 Seriesは、高性能化に向けて多層化が進むNANDメモリー半導体や、微細化が進むDRAMメモリー半導体およびロジック半導体製造メーカー向けに展開し、製造工程の効率化に貢献します。

■NGR5500

電子線顕微鏡に使用する電子の加速電圧を50kVにまで高めることに成功しました。加速電圧を上げることで高層化が進む半導体デバイスに対して高画質な画像を取得することが可能になり、高い精度の検査・計測を実現します。

■NGR5300

従来機種であるNGR3500シリーズの後継機種として開発されました。新開発の光学系および画像取得システム、高速ステージにより、最先端半導体で要求される検査・計測精度およびスループットを実現しています。 NGR5500

■装置特徴

可変電圧による電子ビームを用い、広域視野の画像取得を行い、広域視野により多点測定データ、広域パターンの検査、計測が可能な装置です。高加速電子ビームを半導体ウェーハ上のパターンに照射し、二次電子信号と反射電子信号による画像を生成し、この画像を用いて検査及び計測が可能です。高アスペクトパターンに対しては、寸法、チルト量等のパターン形状を測定することができます。また、複数層のパターンに対しては、層間のパターンのオーバーレイ測定を行うことが可能です。 NGR5300

■装置特徴

最先端の半導体デバイスに適用されるe-beamウェーハパターン検証システムです。NGR5300は、広域視野の画像を取得可能な独自の電子ビーム光学系と、ウェーハ上のパターンを検査・測定するD2DB (Die to Database) アルゴリズムを備えています。NGR5300は、NGR3500シリーズの後継機種です。XYステージ、電子ビーム光学系、プラットフォーム、画像処理系に最新技術を採用し、高スループットと高精度な検査・計測を実現します。 NDAS (NGR Data Analysis System)

■製品特徴

NDASは、独自の統計解析アルゴリズムを搭載したデータ解析システムです。NGR5000シリーズから出力される大量のデータ (数100万点~数1000万点) を取得し、これらのデータを統計解析することで半導体デバイス製造歩留り改善に寄与するデータを可視化することが可能となります。

  • シリーズ

    電子線式半導体ウェーハパターン検査装置 NGR5000シリーズ

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電子線式半導体ウェーハパターン検査装置 NGR5000シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ウェーハサイズ
電子線式半導体ウェーハパターン検査装置 NGR5000シリーズ-品番-NGR5000

NGR5000

要見積もり

Φ300mm (SEMI規格Vノッチウェーハ)

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半導体外観検査装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#欠陥検出 #ウェハ検査 #部品検査 #表面検査 #搬送収納 #高精度検査 #チップ検査 #2D3D測定

対象工程

ウェハ検査装置 パッケージ外観検査装置 ダイシング後検査装置 ワイヤボンディング検査装置

検査方式

2Dビジョン検査型 3D検査型

対応サイズ・形状

小型チップ対応型 大判ウェハ対応型 立体部品・BGA対応型

対応ウェーハサイズ mm

50 - 150 150 - 200 200 - 300

マシンサイクルタイム pcs/sec

1 - 5 5 - 10 10 - 15

画像処理部構成 台

2 - 4 4 - 8

処理時間 個/分

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

東レエンジニアリング株式会社は、東京都中央区に本社を置き、プラント建設や機器・設備の開発とものづくりを手掛ける企業である。 1960年、「東洋工事(株)」を設立。1969~1980年に、住宅事業、物流事業、環境事業、原...

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  • 本社所在地: 東京都
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