プラズマ処理装置 Micro Labo - PSA-Micro Labo - PSA

プラズマ処理装置 Micro Labo - PSA
株式会社ニッシン

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この製品について

プラズマリアクタの独自開発により強力で高均一な処理を実現しました。
ニッシンはマイクロ波電源を始めとしたマイクロ波関連機器に自社製品を使用している数少ないメーカーです。

プラズマリアクタ  (プラズマ発生部)  の特性にとって、電磁波の特性は最重要部の1つです。
ニッシンではプラズマ生成、電磁波の両側面から長年培った技術を複合させた最良のプラズマ装置をご提供いたします。

ニッシンのプラズマ表面処理装置は、用途に応じた3つのタイプをご用意しました。お客様のご要望に応じてカスタマイズも可能です。

主に研究開発のために必要な機能を厳選した省スペースモデルです。

Micro Labo - PSAの特徴
・研究開発に必要な機能を絞り込みシンプルにし、低価格を実現
・コンパクト設計による省スペース化で研究室への設置が容易
・数種類のパラメータを設定可能
・プロセス中での温度・抵抗データの連続変化の計測など、研究開発に最適

焼結処理を高独自の3ステッププロセスにより、低温・短時間の処理と焼結金属膜の高品質  (低抵抗や高焼結密度)  を実現しました。
・プレヒート
・減圧乾燥
・プラズマ照射

強力マイクロ波SWPリアクタ
・水素系プラズマの採用により、銅などの酸化しやすい材料も還元しながらの処理が可能です。ナノペーストに還元材添加を必要としません。

大面積開口により、電子レンジの感覚でサンプルの設置・処理が可能です。
処理時間設定・プラズマ条件を決定し、あとはスタートボタンを押すだけのシンプルな操作が可能です。
プラズマ条件は処理サンプルに合わせて低温処理条件から高温処理条件まで幅広く設定が可能です。研究・開発用途に最適な装置です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
プラズマ処理装置 Micro Labo - PSA

取扱企業
株式会社ニッシン

カテゴリ

加工・工作機器

プラズマ処理装置

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プラズマ処理装置 Micro Labo - PSA 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対象物形状	装置サイズ (W)	装置サイズ (D)	装置サイズ (H)	重量 (kg)	電力	圧縮空気	プロセスガス	ユーティリティ / その他	処理方式	設置可能 (最大サイズ)	処理面
	Micro Labo - PSA	要見積もり	シート / フィルム / 立体物	803mm	683mm	1,660mm	約220kg	三相200V 7kVA	0.45~0.6MPa 1NL / min	O2,Ar,CF4,N2,H2,Heなど (プロセスによる)	排気ダクトを要す	停止処理バッジ方式	290mm × 120mm × 190mm	片面