プラズマ処理装置 M120W
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この製品について

プラズマリアクタの独自開発により強力で高均一な処理を実現しました。
ニッシンはマイクロ波電源を始めとしたマイクロ波関連機器に自社製品を使用している数少ないメーカーです。

プラズマリアクタ  (プラズマ発生部)  の特性にとって、電磁波の特性は最重要部の1つです。
ニッシンではプラズマ生成、電磁波の両側面から長年培った技術を複合させた最良のプラズマ装置をご提供いたします。

ニッシンのプラズマ表面処理装置は、用途に応じた3つのタイプをご用意しました。お客様のご要望に応じてカスタマイズも可能です。

M120Wは全自動表裏面同時処理が可能で、均一性の高い処理を実現した、シート向け両面処理システムです。

特徴
・大面積処理：最大630×640㎜サイズをプラズマ照射可能
・高均一処理：スキャン処理を行うことにより、高い処理均一性
・高い制御性：処理方式、プラズマ条件の制御により微量な処理量の制御可能
・幅広SWPリアクタ：最大630㎜幅のスキャン処理に特化したプラズマリアクタを採用
・全自動に対応：オプションのローダ / アンローダを組み合わせることで全自動のプラズマ処理を実現

サンプルがプラズマリアクタ直下を等速度で通過するスキャン処理方式を使用しているため、大面積を均一に処理することが可能です。
また、制御性が非常に高く、通過速度の変更によりナノ～マイクロオーダーまで処理量を容易に可変可能です。

移載機を取り付けることで、全自動化に対応可能です。
移載機はお客様ご準備物と組み合わせていただくことも、ニッシンで製作することも可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
プラズマ処理装置 M120W

取扱企業
株式会社ニッシン

カテゴリ

加工・工作機器

プラズマ処理装置

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プラズマ処理装置 M120W 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対象物形状	装置サイズ (W)	装置サイズ (D)	装置サイズ (H)	重量 (kg)	電力	冷却水	圧縮空気	パージガス	プロセスガス	ユーティリティ / その他	処理方式	設置可能最大サイズ	処理面
	M120W	要見積もり	ロール to ロール	2180mm	1500mm	2350mm	3500Kg	三相 AC200V 52kVA	30L / min 以上 (結露無きこと)	0.5~0.7MPa20NL / min 以上	5~200SLM (プロセスによる)	O2,Ar,CF4,N2,H2,Heなど (プロセスによる)	排気ダクトを要す	ロール to ロール	幅540mm × ロール外形φ500mm	両面