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プラズマ処理装置 M120W取扱企業
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プラズマ処理装置の製品55点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対象物形状 | 装置サイズ (W) | 装置サイズ (D) | 装置サイズ (H) | 重量 (kg) | 電力 | 冷却水 | 圧縮空気 | パージガス | プロセスガス | ユーティリティ / その他 | 処理方式 | 設置可能 最大サイズ | 処理面 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
M120W |
要見積もり |
ロール to ロール |
2180mm |
1500mm |
2350mm |
3500Kg |
三相 AC200V 52kVA |
30L / min 以上 (結露無きこと) |
0.5~0.7MPa20NL / min 以上 |
5~200SLM (プロセスによる) |
O2,Ar,CF4,N2,H2,Heなど (プロセスによる) |
排気ダクトを要す |
ロール to ロール |
幅540mm × ロール外形φ500mm |
両面 |