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シリーズ
真空ゲートバルブ コスラーズ 両面シール Seal 方向切替え Type取扱企業
入江工研株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | リーク量 本体 | リーク量 弁体 | 使用温度 本体 | 使用温度 アクチュエータ | 開閉時間 | 材質 弁箱 | 材質 ベローズ | 材質 弁板 | 材質 シール材 | 操作圧力 | 寿命 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
コスラーズ 両面シール |
要見積もり |
1 × 10^-10Pa・m3/s |
5 × 10^-10Pa・m3/s (同圧) |
120℃ |
60℃ |
1.0 ~ 3.0s |
A5052/SUS304 |
AM350、SUS316L |
A5052 |
FKM |
0.45 ~ 0.55MPa |
100 ~ 300万回 |
加熱仕様の追加 : 弁体、本体 |
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真空ゲートバルブをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #大型ディスプレイ製造 #排気制御 #圧力調整 #ワーク搬送駆動方式
手動型 空圧型 電動型構造形式
スロット型 ラウンド型シール方式
メタルシール型 エラストマーシール型 ハイブリッドシール型呼び口径 mm
100 - 125 125 - 150 150 - 350 350 - 400ベーキング許容温度 ℃
0 - 80 80 - 120 120 - 150 150 - 200バルブ寿命 回
0 - 100,000 100,000 - 200,000 200,000 - 500,000 500,000 - 1,000,000 1,000,000 - 3,000,000使用温度 ℃
-50 - 0 0 - 50 50 - 80 80 - 100 100 - 150開放コンダクタンス L/s
0 - 100 100 - 10,000 10,000 - 50,000
