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流体制御機器 圧力制御器 AP160M-AP160M
流体制御機器 圧力制御器 AP160M-株式会社エー・シー・イー

流体制御機器 圧力制御器 AP160M
株式会社エー・シー・イー

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この製品について

■概要

半導体用 オートレギュレータ 低真空から高真空まで真空プロセス装置に最適ですAP160Mは半導体製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開度を自動制御することによって、配管内の圧力を自動調整するコントローラです。圧力センサを内蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありません。 最大制御圧力は650kPa程度で、最大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種接があります。AP160Mモデルは比例ソ レノイドバルブをパルス幅変調により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設 定圧力に達します。 圧力ロ継手は1／4"VCR相当品で、接ガス部や圧力センサは全てメタル製になっており、半導体プロセスガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。

  • シリーズ

    流体制御機器 圧力制御器 AP160M

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流体制御機器 圧力制御器 AP160M 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 主な用途 対象ガス 入口圧力 耐圧 圧力設定 制御方式 制御圧力 最大流量 応答時間 入力信号 外部センサ入力 出力信号 継手 シートリーク 精度 電源電圧 消費電流 使用温度 面間外形寸法 圧力センサ 表示設定器
流体制御機器 圧力制御器 AP160M-品番-AP160M

AP160M

要見積もり

半導体用

半導体プロセスガス席食性ガス

500kPa以下

1,000kPa未満

コンピューター等から圧力設定入力必要

比例ソレノイドパルプ制卸

0~500kPa

差圧100kPaのとき500cc/分および3,000cc/分の2種

設定値到達まで1秒

05VDC Cont/Close
R485

(420A 可)

アラーム出力RS485.0~5VDC

1/4〃VCR相当品

10-6Pa・m3/秒以下

±5kPa (800kPaFS時)

24VDC±10％

200mA Max．

0~50℃結露なきこと

W36×D46×H60mm

有り (内蔵)

装備せず

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使用用途

#監視 #モバイル機器 #プレス #冷却回路

測定対象圧力

絶対圧型 ゲージ圧型 差圧型 負圧型

出力信号形式

アナログ出力型 デジタル出力型 無線出力型

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