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DLC成膜装置 PBII&D装置 標準機仕様 PBII―R1000-PBII―R1000
DLC成膜装置 PBII&D装置 標準機仕様 PBII―R1000-株式会社栗田製作所

DLC成膜装置 PBII&D装置 標準機仕様 PBII―R1000
株式会社栗田製作所



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この製品について

■概要

取り扱いが容易なサイズの為、生産機としても使用でき、多くのユーザー様で採用されております。

  • シリーズ

    DLC成膜装置 PBII&D装置 標準機仕様 PBII―R1000

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DLC成膜装置 PBII&D装置 標準機仕様 PBII―R1000 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 電源入力 真空槽サイズ 制御方式 排気完了真空圧力 真空ポンプ ガス圧力コントロール 真空計 マスフローコントローラ 高圧パルス電源 パルスRF電源 標準計測器 サイズ オプション
DLC成膜装置 PBII&D装置 標準機仕様 PBII―R1000-品番-PBII―R1000

PBII―R1000

要見積もり

3ΦAC200V±10% 50/60Hz 約30kVA

両面扉式、サイズ900mm×1,000mm×1,090mm (約1,000L)

手動運転/自動運転 (タッチパネル入力)

1.33×10-3Pa以下 (1.33×10-3Pa以上なら設定変更可能)

ターボ分子ポンプ、メカニカルブースターポンプ、ロータリーポンプ

自動圧力制御弁 (250Aフランジ)

電離真空計、ピラニ真空計、隔膜真空計、デジタル圧力スイッチ

7系統 (Ar、H2、CH4、C2H2、N2、C6H5CH3、HMDSO)

出力電圧-20kVp、出力電流 45Ap、充電容量8kW
出力パルス立上り1μs以下 (但し抵抗負荷時)
繰返し周波数 500Hz~5,000Hz

1,500W (13.56MHz)

デジタルオシロスコープ (出力電圧、出力電流)

真空装置:2,500 (W) ×2,380 (H) ×1,100 (D) mm
操作盤:1,210 (W) ×1,685 (H) ×800 (D) mm
高圧パルス電源盤:850 (W) ×1,730 (H) ×940 (D) mm

冷却水用チラー、排ガス処理装置、コンプレッサー

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成膜方式: CVD法

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