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DLCコーティングの製品42点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電源入力 | 真空槽サイズ | 制御方式 | 排気完了真空圧力 | 真空ポンプ | ガス圧力コントロール | 真空計 | マスフローコントローラ | 高圧パルス電源 | パルスRF電源 | 標準計測器 | サイズ | オプション |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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PBII―R1000 |
要見積もり |
3ΦAC200V±10% 50/60Hz 約30kVA |
両面扉式、サイズ900mm×1,000mm×1,090mm (約1,000L) |
手動運転/自動運転 (タッチパネル入力) |
1.33×10-3Pa以下 (1.33×10-3Pa以上なら設定変更可能) |
ターボ分子ポンプ、メカニカルブースターポンプ、ロータリーポンプ |
自動圧力制御弁 (250Aフランジ) |
電離真空計、ピラニ真空計、隔膜真空計、デジタル圧力スイッチ |
7系統 (Ar、H2、CH4、C2H2、N2、C6H5CH3、HMDSO) |
出力電圧-20kVp、出力電流 45Ap、充電容量8kW |
1,500W (13.56MHz) |
デジタルオシロスコープ (出力電圧、出力電流) |
真空装置:2,500 (W) ×2,380 (H) ×1,100 (D) mm |
冷却水用チラー、排ガス処理装置、コンプレッサー |
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成膜方式: CVD法