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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定対象物 | 厚み測定範囲 (µm) | 測定光源 (nm) | 光出カパワー (mW) | ガイド用光源 | 計測時間 (ms) | 測定再現性 (µm) | モニタ出力 | PCインターフェース | 電源電圧 (V) | 外観寸法 (WxH×D) (mm) | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
Siウェハ厚み測定器 |
要見積もり |
シリコン基板 |
10~500 (n=3.5のとき) |
波長可変光源 (1,515~1,585) |
0.6、クラス1 |
赤色LD、クラス1M |
最小20 |
0.1以下 (3alにおいて) |
干渉出力信号 |
Ethernet |
AC 100-240 (50 / 60 Hz) |
364 x 147 x 391 |
9 |
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