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真空脱ガス炉 SBF-H500TB-SBF-H500TB
真空脱ガス炉 SBF-H500TB-株式会社サンバック

真空脱ガス炉 SBF-H500TB
株式会社サンバック

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この製品について

真空脱ガス炉SBF-H500TBは、半導体部品、電極部品、ポリマー材、SUS部品等を減圧下において加熱し、脱ガス処理を行うことを目的とした装置です。メインポンプにターボ分子ポンプを採用。クリーンな減圧下において加熱作業が可能です。本装置のメインバルブはゲートバルブを採用しておりますので、通常のアングルバルブに比べて、ターボ分子ポンプの排気速度を最大限発揮出来ます。又、各ヒーターゾーン6面をPID方式にて制御しておりますので、温度指示値の信頼性も高くなるよう製作しております。

  • シリーズ

    真空脱ガス炉 SBF-H500TB

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真空脱ガス炉 SBF-H500TB 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 到達圧力 排気速度 装置漏洩量 気体放出量 処理室径 表面処理 加熱方法 有効加熱領域 最高温度 常用温度 温度分布 制御方法 真空排気系 真空計 操作方法 記録計 ユーティリティ 動力 ユーティリティ 計装エアー ユーティリティ 冷却水 ユーティリティ 乾燥窒素 設置スペース オプション
真空脱ガス炉 SBF-H500TB-品番-SBF-H500TB

SBF-H500TB

要見積もり

1.5×10-5Pa以下※常温・ワーク未挿入・脱ガス完了時

9.9×10-5Pa以下まで排気開始から20分以内※常温・ワーク未挿入・脱ガス完了時

×10-10Pa・m3/sec台 (Heリークデテクター試験による)

×10-6Pa・m3/sec台 (24hrビルドアップ試験による)

650mmW×650mmD×500mmH 材質:SUS304

電解研磨処理

シースヒーター

450mmW×450mmD×300mmH

500℃ (熱板を測温)

RT~450℃ (熱板を測温)

450℃±5℃ (有効加熱領域帯5点測温) ※定温運転中

6ゾーン (上・右・下・左・前・後) を
6サイリスタ (上・右・下・左・前・後) にて各々制御
PID式デジタルプログラムコントローラ6式
(マスター・スレーブ通信)

ドライポンプ:920L/min
ターボ分子ポンプ:1,030L/sec

コールドカソードピラニ真空計

加熱系 (自動/手動) ・排気系 (自動/手動)

タッチパネル (10インチ) /シーケンサー/ハイブリッド記録計 (5.7インチ)

φ3×AC200V×15kW 50/60Hz 1系統

圧力:0.5MPa~0.6MPaG 1系統

圧力:0.1~0.3MPaG 流量:20L/min以上 1系統
差圧:0.1MPaG 水温:25℃以下
冷却能力:6.0kW以上 水質:日本冷凍空調工業会の水質管理基準

圧力:0.05MPaG~0.2MPaG 1系統

2,500mmW×2,500mmD×2,500mmH以上

計装エアー用コンプレッサー/冷却水循環装置/クリーンブース/四重極型質量分析計

フィルターから探す

真空炉をフィルターから探すことができます

使用用途

#焼結 #ろう付け #焼鈍 #焼戻し #焼入れ #浸炭 #応力除去 #乾燥 #脱ガス #脱泡

加熱方式

抵抗加熱型 高周波加熱型 輻射加熱 直接通電 抵抗加熱

構造形式

横型炉 縦型炉 チャンバ型 バッチ型

真空到達度

低真空型 中真空型 高真空型

特殊機能

ガス置換型 急速昇降温型

最高温度 ℃

600 - 1,000 1,000 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,600 1,600 - 2,000 2,000 - 2,400

常用温度 ℃

500 - 600 600 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,600 1,600 - 2,000 2,000 - 2,200

到達真空度 Pa

0 - 0.1 0.1 - 10 10 - 100 100 - 150

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この商品の取り扱い会社情報

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0.1時間

会社概要

株式会社サンバックは真空装置のメーカーです。...

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  • 本社所在地: 東京都
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