優れた均質性＆最大の柔軟性 Ionfab 300 IBE
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
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この製品について
■概要
優れた均質性を持ちながら最大の柔軟性を有し、広範な用途分野に適しています。当社のシステムには、大気装入、単一基板真空予備室、そしてカセット交換方式を含む、柔軟なハードウェアのオプションがあります。システムの仕様は、用途に合わせて綿密に調整され、迅速かつ再現性のある結果を実現します。■特徴
・複数のモード機能 ・他のプラズマエッチングやプラズマデポジションのツールとのクラスター化が可能 ・単一ウェハー真空予備室またはクラスター方式ウェハー取り扱い ・デュアルビーム配置 ・薄膜表面粗さが非常に小さい ・他に類のない、バッチ均質性およびプロセス再現性 ・正確なエンドポイント検知－SIMS、発光分析■製品の特長
・高品質薄膜-非常に少ない汚染 ・小さな専有面積で高スループット-低操業コスト ・白色光学モニター設計を装備した、高速基板ホルダー (最大500RPM) の特許技術-非常に正確な、その場光学薄膜制御が可能 ・柔軟な配置-先端的な研究用途 ・柔軟なウェハー取り扱い能力-取り扱い能力－大気装入、単一ウェハー真空予備室、カセット交換方式のロボット操作-
シリーズ
優れた均質性＆最大の柔軟性 Ionfab 300 IBE
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カテゴリ
優れた均質性＆最大の柔軟性 Ionfab 300 IBE 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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Ionfab 300 IBE |
要見積もり |
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