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優れた均質性&最大の柔軟性 Ionfab 300 IBE-Ionfab 300 IBE
優れた均質性&最大の柔軟性 Ionfab 300 IBE-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

優れた均質性&最大の柔軟性 Ionfab 300 IBE
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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この製品について

■概要

優れた均質性を持ちながら最大の柔軟性を有し、広範な用途分野に適しています。当社のシステムには、大気装入、単一基板真空予備室、そしてカセット交換方式を含む、柔軟なハードウェアのオプションがあります。システムの仕様は、用途に合わせて綿密に調整され、迅速かつ再現性のある結果を実現します。

■特徴

・複数のモード機能 ・他のプラズマエッチングやプラズマデポジションのツールとのクラスター化が可能 ・単一ウェハー真空予備室またはクラスター方式ウェハー取り扱い ・デュアルビーム配置 ・薄膜表面粗さが非常に小さい ・他に類のない、バッチ均質性およびプロセス再現性 ・正確なエンドポイント検知-SIMS、発光分析

■製品の特長

・高品質薄膜-非常に少ない汚染 ・小さな専有面積で高スループット-低操業コスト ・白色光学モニター設計を装備した、高速基板ホルダー (最大500RPM) の特許技術-非常に正確な、その場光学薄膜制御が可能 ・柔軟な配置-先端的な研究用途 ・柔軟なウェハー取り扱い能力-取り扱い能力-大気装入、単一ウェハー真空予備室、カセット交換方式のロボット操作

  • シリーズ

    優れた均質性&最大の柔軟性 Ionfab 300 IBE

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優れた均質性&最大の柔軟性 Ionfab 300 IBE 品番1件

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会社概要

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社は科学研究機器、半導体プロセス装置、分析機器の輸入販売・修理・買取を行っている企業です。 1991年にイギリスのオックスフォード・インストゥルメンツの日本法人として設立されま...

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  • 本社所在地: 東京都
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