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イオンビーム技術は単一ツールで最大限のシステム活用が可能 Ionfab 300 IBD-Ionfab 300 IBD
イオンビーム技術は単一ツールで最大限のシステム活用が可能 Ionfab 300 IBD-オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

イオンビーム技術は単一ツールで最大限のシステム活用が可能 Ionfab 300 IBD
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

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この製品について

■概要

高品質で高密度かつ滑らかな表面を持つ、薄膜デポジションを実現することで、選んでいただいています。 イオンビーム技術は、単一ツールで最大限のシステム活用が可能で、エッチングやデポジションに対して、非常に多様な手法を提供できます。当社のシステムには、大気装入、単一基板真空予備室、そしてカセット交換方式を含む、柔軟なハードウェアのオプションがあります。システムの仕様は、用途に合わせて綿密に調整され、迅速かつ再現性のある結果を実現します。

■特徴

・複数のモード機能 ・他のプラズマエッチングやプラズマデポジションのツールとのクラスター化が可能 ・単一ウェハー真空予備室またはクラスター方式ウェハー取り扱い ・デュアルビーム配置 ・膜表面粗さが非常に小さい ・他に類のない、バッチ均質性およびプロセス再現性 ・正確なエンドポイント検知-SIMS、発光分析

  • シリーズ

    イオンビーム技術は単一ツールで最大限のシステム活用が可能 Ionfab 300 IBD

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イオンビーム技術は単一ツールで最大限のシステム活用が可能 Ionfab 300 IBD 品番1件

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会社概要

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社は科学研究機器、半導体プロセス装置、分析機器の輸入販売・修理・買取を行っている企業です。 1991年にイギリスのオックスフォード・インストゥルメンツの日本法人として設立されま...

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  • 本社所在地: 東京都
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