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ウェーハ自動剥離装置(剥離洗浄機)PWD2020取扱企業
PHT株式会社カテゴリ
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半導体洗浄装置の製品19点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応サイズ | 収納 | 収納カセット | プレート治具 | 駆動方式 | 安全機構 | 電源 | 装置重量 | オプション |
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PWD2020 |
要見積もり |
φ12″ |
カセット (25枚入) |
最大6個 |
NTC製・MB製 |
モーター駆動 (サーボ) |
カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止 |
AC200V、100A |
約5,000kg |
ローダー部IDリーダー、アンローダー部RFID、ウェーハ反転、複数カセットへの収納、エリアセンサーなど |