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返答率
100.0%
返答時間
57.3時間
シリーズ
ウェーハ搬送装置取扱企業
PHT株式会社カテゴリ
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搬送装置の製品390点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を1件表示しています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ワーク | 装置重量 | ワーク厚さ | ワークサイズ | 電源 | カセット (容器) | スループット | 駆動方式 | 搬送単位 | 装置サイズ | 安全機構 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
PWT2020 |
要見積もり |
半導体基板 |
約500kg |
600~850μm |
300mm |
AC200V,15A |
FOUP・FOSB・OPEN・PFA |
25枚/1カセット搬送時間 300秒以下 |
モーター駆動 (サーボ) |
1枚単位 ・ 5枚単位 ・ 25枚単位 |
W1,000×D1,400×H1,800mm |
カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、 |
静電気除去装置 (イオナイザー) ・全面カバー・エリアセンサーIDリーダー・アライメント・ウェーハ反転など |
搬送装置の中で同じ条件の製品
ワークサイズ: 200 - 300mm
搬送装置をフィルターから探すことができます
搬送能力 kg
100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 50,000 50,000 - 100,000走行速度 m/min
10 - 30 30 - 60 60 - 150電源電圧 V
20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250ワークサイズ mm
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500重量 kg
0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000
