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シリーズ
コーティング装置 小型DLC成膜実験装置 330シリーズ ICF-330取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 真空槽 (mm) | 有効エリア (mm) | 基板ホルダー | 搭載可能システム | 到達圧力 | 排気速度 | 基板加熱機構 | 基板バイアス | 装置制御 | 排気系 | 所要電力 | 設置面積 (M) | 冷却水 | 圧縮空気 |
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ICF-330 |
要見積もり |
330W × 330D × 410H |
φ150 × 150L (スパッタリング搭載時は※110L) |
自公転式 (製品形状に応じて特注製作可能) |
PSII電源 (標準) 、DLCイオン源 (イオン化蒸着源) 、スパッタリング電源、DLC剥離用電源 |
6.7E-4Pa以下 |
6.7E-3Pa以下まで30分以内 |
オプション (シースヒーター) |
MAX 5kV 250mA 0.2 ~ 2kHz DUTY5 ~ 50% |
レシピ画面設定による完全自動運転 |
ターボ分子ポンプ + ロータリーポンプ |
3φ 200V 10kVA~ |
2.5W × 2.5D × 2.0H |
2kgf/cm2 20L/min |
5kgf/cm2以上 |
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成膜方式: スパッタリング法