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光学式膜厚計 OMD-1000-OMD-1000
光学式膜厚計 OMD-1000-朝日分光株式会社

光学式膜厚計 OMD-1000
朝日分光株式会社

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■OMD-1000とは

蒸着中の基板の光量変化を単色光で監視する分光式の膜厚監視モニタです。自社の蒸着装置でも使用されており、蒸着部品メーカーとしてのノウハウの詰まった膜厚監視装置に仕上がっています。

■波長範囲も充実

従来の機種はフィルター式の波長選択でしたが、新製品は当社で実績のある分光器を組み込み、任意の波長を選択できるようになりました。膜厚変化の信号は電圧出力からパソコン対応のデジタル出力へ、制御機構はマニュアル操作からパソコンによるコマンド制御になっています。また膜厚計本体をI/Fによりパソコンと直結して制御できる様にしたことで、他のメーカーの様なコントローラーなどがなく、非常にコンパクトなシステムになっています。

■特長

・分光器搭載のコンパクトな設計 ・耐ノイズ性の向上により、信頼性の高い膜厚監視を実現 (静電気放電試験耐圧 ±5kV) ・PCからのコマンドにより自動制御可能 ・コントローラーを受光器本体に内蔵したことにより、高いコストパフォーマンスを実現

■製品概要

蒸着装置へ取り付けて膜厚を監視します。右記のような取り付けが可能です。

  • シリーズ

    光学式膜厚計 OMD-1000

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光学式膜厚計 OMD-1000 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 分光器タイプ 波長範囲 波長分解能 波長精度 最小波長送り 外部制御 外部出力端子 サンプリング間隔 静電気放電試験耐圧 光源 光量安定性 入力電圧 許容入力電圧 皮相電力 使用環境
光学式膜厚計 OMD-1000-品番-OMD-1000

OMD-1000

要見積もり

ツェルニーターナー型シングルモノクロ

保証範囲：380~900nm
動作可能範囲：350~1,100nm

スリット0.5mm：4.2nm [546nm]
スリット1.0mm：8.3nm [546nm]

±1.0nm

0.1nm

RS232C

DC0~2V (フルスケール時)

100ms以上

±5kV (実績8kV)

12V100W ハロゲンランプ

±0.1%/h以下

AC100V 50/60Hz

AC85~132V

340VA以下

温度 10~35℃
湿度 20~80％

フィルターから探す

膜厚計をフィルターから探すことができます

測定範囲 μm

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 10,000,000

測定方式

電磁誘導式/渦電流式 電磁式 渦電流式 光熱放射法 超音波式 静磁気式 4探針電気抵抗式 電解式 蛍光X線 微小面積電解式 パルス反射式

測定精度 μm

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 60 60 - 100 100 - 250

分解能 μm

0 - 1 1 - 100

データメモリ数 点

1,000 - 10,000 10,000 - 40,000 40,000 - 260,000 260,000 - 2,000,000

質量 g

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 90,000

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会社概要

朝日分光は、様々な開発・製造・評価等に最適な光源や分光器、光学フィルターなどの光学製品を製造から販売まで一貫して行なっています。 創業以来の光学フィルターだけでなく、その技術を応用した光学機器まで含めて、お客様にご提案し...

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  • 本社所在地: 東京都

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