分光エリプソメータ FE-5000 series
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この製品について

高精度な薄膜解析が可能な分光エリプソメトリーに加え、測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜にも対応しております。従来の回転検光子法に加え、位相差板の自動脱着機構を設けることにより、測定精度を向上させました。

■特長・紫外可視 (300～800nm) の波長領域でのエリプソパラメータ測定が可能
・ナノメータオーダーの多層薄膜の膜厚解析が可能
・400ch以上のマルチチャンネル分光法によるエリプソスペクトルの迅速測定が可能
・反射角度可変測定により、薄膜の詳細な解析に対応
・光学定数のデータベース化およびレシピ登録機能の追加により操作性がアップ

■測定項目・エリプソパラメータ (tanψ、cosΔ) 測定
・光学定数 ( n ： 屈折率 , k ： 消衰係数 ) 解析
・膜厚解析

測定対象
■半導体ウェーハゲート酸化薄膜，窒化膜，SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN，レジストの光学定数 (波長分散) 

■化合物半導体AlxGa (1-x) As 多層膜，アモルファスシリコン

■FPD配向膜

■各種新素材DLC (Diamond Like Carbon) ，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜

■光学薄膜TiO2，SiO2，反射防止膜

■リソグラフィー分野g線 (436nm) ，h線 (405nm) ，i線 (365nm) などの各波長におけるn，k評価

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
分光エリプソメータ FE-5000 series

取扱企業
大塚電子株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

エリプソメーター

アナライザ

分光分析装置

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分光エリプソメータ FE-5000 series 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定方式	測定膜厚範囲 (nd)	入射 (反射) 角度範囲	入射 (反射) 角度駆動方式	tanψ測定正確さ	cosΔ測定正確さ	膜厚の繰り返し再現性	波長範囲	測定用光源	ステージ駆動方式
	FE-5000 series	要見積もり	回転検光子法	0.1nm~1μm	45~90°	自動サインバー駆動方式	±0.01以下	±0.01以下	0.01%以下	300~800nm	高安定キセノンランプ	手動/自動