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顕微分光膜厚計 OPTM series-OPTM-A1 自動XYステージタイプ
顕微分光膜厚計 OPTM series-大塚電子株式会社

顕微分光膜厚計 OPTM series
大塚電子株式会社

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この製品について

OPTM (オプティム) は、顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

■特長

・膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約 ・顕微分光で高精度な絶対反射率測定 (多層膜厚、光学定数) ・1ポイント1秒以内の高速測定 ・顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系 (紫外～近赤外) ・エリアセンサーによる安全機構 ・初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード ・測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載 ・複雑な光学定数も解析可能 (複数点解析法) ・300mmステージ対応可能 ・各種カスタマイズに対応

  • シリーズ

    顕微分光膜厚計 OPTM series

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顕微分光膜厚計 OPTM series 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 波長範囲 膜厚範囲 サンプルサイズ スポット径 寸法 (W×D×H) 重量 最大消費電力
顕微分光膜厚計 OPTM series-品番-OPTM-A1 自動XYステージタイプ

OPTM-A1 自動XYステージタイプ

要見積もり

230~800 nm

1 nm~35 μm

最大200×200×17 mm

φ5、φ10、φ20、φ40µm

556×566×618 mm

66 kg

AC100V±10V 500VA

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使用用途

#金属加工 #プラスチック成形 #フィルム検査 #紙製品検査 #半導体検査 #塗装管理 #ガラス製造 #電池製造 #医療機器製造

測定範囲 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000

分解能 秒

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 10,000

測定精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1

繰り返し精度 μm

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10

重量 kg

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大塚電子株式会社

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会社概要

大塚電子株式会社は大塚製薬株式会社の子会社で、計測機器及び検査機器などの製造メーカーです。 赤外分光分析装置・ディスクリート方式臨床化学自動分析装置などのME機器、ゼータ電位測定システム・多検体ナノ粒子径測定システムな...

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  • 本社所在地: 大阪府

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